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用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作(英文)
被引量：
1
1
作者
王宇
陈火耀
+3 位作者
刘正坤
郑衍畅
洪义麟
付绍军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期166-170,共5页
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在（100）硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制...
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在（100）硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%,并能承受航空环境-55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.
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关键词
光学位移传感器
编码光栅
复制技术
紫外光刻
全息光刻
光传操纵系统
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职称材料
双针表面形貌测量系统的研究
被引量：
1
2
作者
卢圣凤
谢铁邦
+1 位作者
高咏生
李柱
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第3期171-173,236,共4页
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,...
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。
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关键词
双针表面形貌测量系统
表面特征提取
光学位移传感器
触针
位移
传感器
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职称材料
题名
用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作(英文)
被引量：
1
1
作者
王宇
陈火耀
刘正坤
郑衍畅
洪义麟
付绍军
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期166-170,共5页
基金
The Technology Innovation Fund for Aviation Industry Corporation of China(No.2009D61864)
the National Science Foundation for Young Scientists of China(No.11105145)
文摘
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在（100）硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%,并能承受航空环境-55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.
关键词
光学位移传感器
编码光栅
复制技术
紫外光刻
全息光刻
光传操纵系统
Keywords
Opticaldisplacement sensor
Encoding grating
Replication technique
UV lithography
Holographic lithography
Aircraft control systems
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
双针表面形貌测量系统的研究
被引量：
1
2
作者
卢圣凤
谢铁邦
高咏生
李柱
机构
华中科技大学精密仪器测试中心
香港科技大学机械工程系
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第3期171-173,236,共4页
基金
国家自然科学基金 (5 95 75 0 83 )
文摘
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。
关键词
双针表面形貌测量系统
表面特征提取
光学位移传感器
触针
位移
传感器
Keywords
Surface topography
Contact/non contact measurement
Surface characterization
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作(英文)
王宇
陈火耀
刘正坤
郑衍畅
洪义麟
付绍军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
双针表面形貌测量系统的研究
卢圣凤
谢铁邦
高咏生
李柱
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002
1
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职称材料
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