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AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征
被引量：
5
1
作者
姬小利
江若琏
+7 位作者
李亮
谢自力
周建军
刘斌
韩平
张荣
郑有炓
龚海梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期888-890,共3页
设计了反射中心波长为500nm的A l0.3Ga0.7N/GaN和A lN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟。采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品。实际测量的样品反射...
设计了反射中心波长为500nm的A l0.3Ga0.7N/GaN和A lN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟。采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品。实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低。SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的。
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关键词
氮化镓
分布布拉格反射镜
光学传递矩阵方法
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职称材料
题名
AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征
被引量：
5
1
作者
姬小利
江若琏
李亮
谢自力
周建军
刘斌
韩平
张荣
郑有炓
龚海梅
机构
南京大学物理系江苏省光电功能材料重点实验室
中国科学院上海技术物理研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期888-890,共3页
基金
国家自然科学基金项目(No.60276031)
重点基础研究规划项目(No.G20000683)资助
文摘
设计了反射中心波长为500nm的A l0.3Ga0.7N/GaN和A lN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟。采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品。实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低。SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的。
关键词
氮化镓
分布布拉格反射镜
光学传递矩阵方法
Keywords
GaN
DBR
transfer-matrix-method
分类号
O472.8 [理学—半导体物理]
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征
姬小利
江若琏
李亮
谢自力
周建军
刘斌
韩平
张荣
郑有炓
龚海梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005
5
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