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微细加工技术与设备
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《中国光学》 EI CAS 1999年第4期93-97,共5页
TN305.2 99042750液体中激光熔蚀固体靶制备氮化碳纳米晶=Nano—crystallinecarbon nitrides prepared by laser ablatingsolid target in liquid[刊,中]/刘秋香,王金斌,杨国伟(湘潭大学现代物理研究所.湖南,湘潭(411105))//微细加工技... TN305.2 99042750液体中激光熔蚀固体靶制备氮化碳纳米晶=Nano—crystallinecarbon nitrides prepared by laser ablatingsolid target in liquid[刊,中]/刘秋香,王金斌,杨国伟(湘潭大学现代物理研究所.湖南,湘潭(411105))//微细加工技术.—1998,(2). 展开更多
关键词 微细加工技术 激光熔蚀 纳米晶 光刻胶灰化工艺 中科院 技术研究所 光刻技术 氮化碳 光学邻近效应校正 四川
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