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太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
1
作者
姜琪
李兴辉
+2 位作者
冯进军
蔡军
潘攀
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期759-767,共9页
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗...
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗糙度要求达到几十纳米量级,微电铸后金属含氧量极小,结构密度大不漏气,经得起后续近千摄氏度的高温处理工艺等。文章介绍了太赫兹频段下器件慢波结构的加工方式,着重讨论利用深反应离子刻蚀(DRIE)技术和紫外−光刻、电铸(UV-LIGA)技术加工超深金属慢波结构的技术和和特点,并介绍了本实验室利用UV-LIGA加工折叠波导的研究进展。
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关键词
太赫兹真空电子器件
微机电系统
深反应离子刻蚀
紫外−
光刻
、
电铸
慢波结构
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职称材料
电子纸微杯结构金属模具的设计与制作
被引量：
1
2
作者
浦东林
胡进
+2 位作者
朱鹏飞
魏国军
陈林森
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期174-177,共4页
提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成&qu...
提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成"微杯"图形,然后通过电铸工艺制作出镍金属模具。实际制作的"蜂窝"分布的微杯结构参数与设计参数基本吻合。该工艺流程适合研制更大尺寸的电子纸的微杯模具,将为"微杯"模具制作提供一种有效手段。
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关键词
电子纸
微杯模具
光刻电铸
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职称材料
国外高深宽比微细结构制造技术的发展
被引量：
13
3
作者
徐惠宇
朱荻
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第12期4-6,13,共4页
介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学...
介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学沉积、立体光固化微加工、微细电解加工等一些新发展的高深宽比微细结构技术。
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关键词
高深宽比
微细结构
光刻
电铸
和模铸
准LIGA
深层反应离子刻蚀
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职称材料
题名
太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
1
作者
姜琪
李兴辉
冯进军
蔡军
潘攀
机构
北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家级重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期759-767,共9页
基金
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金项目(10249)。
文摘
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗糙度要求达到几十纳米量级,微电铸后金属含氧量极小,结构密度大不漏气,经得起后续近千摄氏度的高温处理工艺等。文章介绍了太赫兹频段下器件慢波结构的加工方式,着重讨论利用深反应离子刻蚀(DRIE)技术和紫外−光刻、电铸(UV-LIGA)技术加工超深金属慢波结构的技术和和特点,并介绍了本实验室利用UV-LIGA加工折叠波导的研究进展。
关键词
太赫兹真空电子器件
微机电系统
深反应离子刻蚀
紫外−
光刻
、
电铸
慢波结构
Keywords
Terahertz vacuum electronics devices
Micro-electro-mechanical system
Deep reactive ion etching
Ultraviolet-Lithographie Galvanoformung Abformung
Slow wave structure
分类号
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电子纸微杯结构金属模具的设计与制作
被引量：
1
2
作者
浦东林
胡进
朱鹏飞
魏国军
陈林森
机构
苏州大学信息光学工程研究所
苏州苏大维格光电科技股份有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期174-177,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60777039)
文摘
提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成"微杯"图形,然后通过电铸工艺制作出镍金属模具。实际制作的"蜂窝"分布的微杯结构参数与设计参数基本吻合。该工艺流程适合研制更大尺寸的电子纸的微杯模具,将为"微杯"模具制作提供一种有效手段。
关键词
电子纸
微杯模具
光刻电铸
Keywords
E-paper
microcup mould
LIGA
分类号
TN27 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
国外高深宽比微细结构制造技术的发展
被引量：
13
3
作者
徐惠宇
朱荻
机构
南京航空航天大学机电工程学院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第12期4-6,13,共4页
文摘
介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学沉积、立体光固化微加工、微细电解加工等一些新发展的高深宽比微细结构技术。
关键词
高深宽比
微细结构
光刻
电铸
和模铸
准LIGA
深层反应离子刻蚀
Keywords
HAR(high aspect ratio)
MST(microstuctures)
LIGA(lithographie galvanoformung abformung)
LIGA-LIKE
DRIE(deep reactive ion etching)
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
姜琪
李兴辉
冯进军
蔡军
潘攀
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
电子纸微杯结构金属模具的设计与制作
浦东林
胡进
朱鹏飞
魏国军
陈林森
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
国外高深宽比微细结构制造技术的发展
徐惠宇
朱荻
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004
13
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职称材料
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