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基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制
被引量：
21
1
作者
王一光
李晓杰
陈兴林
《电工技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期38-46,共9页
针对光刻机掩模台宏动永磁直线同步电机(PMLSM)提出一种鲁棒自适应神经网络轨迹跟踪补偿控制策略。该策略的主要特点是采用径向基函数(RBF)神经网络实时在线进行模型参数不确定性和各种外界非线性扰动的估计。为了验证策略的效果,建立...
针对光刻机掩模台宏动永磁直线同步电机(PMLSM)提出一种鲁棒自适应神经网络轨迹跟踪补偿控制策略。该策略的主要特点是采用径向基函数(RBF)神经网络实时在线进行模型参数不确定性和各种外界非线性扰动的估计。为了验证策略的效果,建立基于参数不确定性和外界非线性扰动的掩模台宏动PMLSM模型,并针对此模型进行控制策略的规划、推导和稳定性理论分析,分析结果说明该策略可以保证位置和速度跟踪误差的收敛性。通过在光刻机掩模台上进行的五阶S曲线跟踪控制实验验证了此控制策略的实际控制效果,实验结果显示跟踪准确度达到了满意的效果。由于此控制策略的最大优点是不需要对实际物理系统参数和难于测量的外界不确定性扰动做精准的建模,所以非常适合应用在超精密运动控制领域。
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关键词
永磁直线同步电机
光刻机掩模台
鲁棒自适应
神经网络
运动控制
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职称材料
应用于光刻机掩模台的自适应前馈控制
2
作者
谈恩民
石婷婷
+1 位作者
张志钢
张霖
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021年第6期1069-1074,共6页
为了解决光刻机掩模台控制系统中模型参数的不确定性,提出一种带有自适应前馈的运动控制算法。该算法主要特点是以控制器的实际输出与估计输出之间的估计误差最小为优化目标,利用递推最小二乘法在线自动更新前馈系数,使前馈系数更为准...
为了解决光刻机掩模台控制系统中模型参数的不确定性,提出一种带有自适应前馈的运动控制算法。该算法主要特点是以控制器的实际输出与估计输出之间的估计误差最小为优化目标,利用递推最小二乘法在线自动更新前馈系数,使前馈系数更为准确地匹配系统的运动特性。将此方法应用在光刻机掩模台上,利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置信号进行仿真实验,验证此控制算法的控制效果。与传统方法相比,自适应前馈控制有效地减小位置误差、缩短了稳定时间,并提升了掩模台系统性能。
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关键词
自适应前馈
最小二乘法
光刻机掩模台
运动控制
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职称材料
题名
基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制
被引量：
21
1
作者
王一光
李晓杰
陈兴林
机构
黑龙江大学
哈尔滨工业大学
出处
《电工技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期38-46,共9页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)(10007.07-LB7)
国家科技重大专项(2009ZX02207)资助项目
文摘
针对光刻机掩模台宏动永磁直线同步电机(PMLSM)提出一种鲁棒自适应神经网络轨迹跟踪补偿控制策略。该策略的主要特点是采用径向基函数(RBF)神经网络实时在线进行模型参数不确定性和各种外界非线性扰动的估计。为了验证策略的效果,建立基于参数不确定性和外界非线性扰动的掩模台宏动PMLSM模型,并针对此模型进行控制策略的规划、推导和稳定性理论分析,分析结果说明该策略可以保证位置和速度跟踪误差的收敛性。通过在光刻机掩模台上进行的五阶S曲线跟踪控制实验验证了此控制策略的实际控制效果,实验结果显示跟踪准确度达到了满意的效果。由于此控制策略的最大优点是不需要对实际物理系统参数和难于测量的外界不确定性扰动做精准的建模,所以非常适合应用在超精密运动控制领域。
关键词
永磁直线同步电机
光刻机掩模台
鲁棒自适应
神经网络
运动控制
Keywords
Permanent magnetic linear synchronous motor, reticle stage of lithography, robust adaptive, neural network, motion control
分类号
TM341 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
应用于光刻机掩模台的自适应前馈控制
2
作者
谈恩民
石婷婷
张志钢
张霖
机构
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院
上海微电子装备(集团)股份有限公司
出处
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021年第6期1069-1074,共6页
文摘
为了解决光刻机掩模台控制系统中模型参数的不确定性,提出一种带有自适应前馈的运动控制算法。该算法主要特点是以控制器的实际输出与估计输出之间的估计误差最小为优化目标,利用递推最小二乘法在线自动更新前馈系数,使前馈系数更为准确地匹配系统的运动特性。将此方法应用在光刻机掩模台上,利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置信号进行仿真实验,验证此控制算法的控制效果。与传统方法相比,自适应前馈控制有效地减小位置误差、缩短了稳定时间,并提升了掩模台系统性能。
关键词
自适应前馈
最小二乘法
光刻机掩模台
运动控制
Keywords
Adaptive feedforward
least squares method
reticle stage of lithography
motion control
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制
王一光
李晓杰
陈兴林
《电工技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2016
21
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职称材料
2
应用于光刻机掩模台的自适应前馈控制
谈恩民
石婷婷
张志钢
张霖
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021
0
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