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用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布 被引量:3
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作者 赵家政 徐洮 马良 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期495-496,共2页
在扫描电子显微观察的同时,用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布[1,2]简便可行。薄膜厚度的测量例1.载玻片上的CoCu膜。对载玻片、Cu底膜和CoCu膜,用EDS分别进行了测量,其数据列入表1。根据电子在膜中的... 在扫描电子显微观察的同时,用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布[1,2]简便可行。薄膜厚度的测量例1.载玻片上的CoCu膜。对载玻片、Cu底膜和CoCu膜,用EDS分别进行了测量,其数据列入表1。根据电子在膜中的穿透深度(40kV时在Cu膜中穿透... 展开更多
关键词 薄膜测量 厚度 元素深度分布 EDS
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微通道板次级电子发射层中各元素随深度的分布 被引量:2
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作者 韦亚一 陶兆民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第6期384-387,共4页
本文应用XPS研究微通道板次级电子发射层中各元素浓度随深度的分布,以及不同烧氢还原温度对此分布的影响,并讨论了不同烧氢还原温度对次级电子发射性能的影响,在此基础上提出了改进微通道板性能的几个途径。
关键词 微通道板 XPS(X光电子能谱) 烧氢还原 元素深度分布 次级电子发射体
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用质子弹散符合测量方法分析薄膜中氢分布的蒙特卡罗研究 被引量:1
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作者 杨江燕 郑涛 +1 位作者 田继挺 刘旭 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期829-833,共5页
本文从离子与物质相互作用的基本原理出发,用蒙特卡罗方法模拟了用质子弹性散射符合分析方法分析表面含氢的几组不同厚度的金属薄膜样品的实验,详细介绍了模拟过程中影响深度分辨率的多种因素,如束流能量、能损歧离、角度歧离等。本... 本文从离子与物质相互作用的基本原理出发,用蒙特卡罗方法模拟了用质子弹性散射符合分析方法分析表面含氢的几组不同厚度的金属薄膜样品的实验,详细介绍了模拟过程中影响深度分辨率的多种因素,如束流能量、能损歧离、角度歧离等。本文基于2×1.7MV串列静电加速器可以提供的质子束能量范围,通过模拟计算得到用能量为1.5 MeV的质子束分析厚度为1~3微米的铝膜,深度分辨可以达到0.2微米。本文还给出了内部含氢的多层铝膜的模拟结果,表明此方法可以很好地分析薄膜内部氢元素的深度分布。 展开更多
关键词 质子弹性散射 符合分析 元素深度分布
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北京大学4.5 MV静电加速器核反应分析系统 被引量:3
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作者 高原 朱吉鹏 +3 位作者 秦利青 肖璇 王宇钢 颜莎 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期906-912,共7页
为满足对聚变堆面向等离子体材料中氘氚滞留问题的研究,北京大学4.5 MV静电加速器在原束线基础上新增核反应分析系统,该系统使用能量0.8~3.6 MeV的H^+、D^+、~3He^+和~4He^+粒子束流,可对核反应微分截面和样品中元素浓度的深度分布进... 为满足对聚变堆面向等离子体材料中氘氚滞留问题的研究,北京大学4.5 MV静电加速器在原束线基础上新增核反应分析系统,该系统使用能量0.8~3.6 MeV的H^+、D^+、~3He^+和~4He^+粒子束流,可对核反应微分截面和样品中元素浓度的深度分布进行测量分析。本文对核反应分析原理、核反应分析系统的设备布局和实验方法进行了讨论,并以D(~3He,p)~4He核反应为例,分析了微分截面计算和样品中氘元素浓度深度分布的数据结果,其深度分辨小于1.5μm,实验误差约为7.5%。 展开更多
关键词 静电加速器 核反应分析 微分截面 元素浓度深度分布
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