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光学元件聚氨酯抛光特性研究
被引量:
7
1
作者
李亚国
王健
+3 位作者
许乔
杨炜
周治鑫
郭隐彪
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期139-144,共6页
本文研究了应用于平面光学元件的快速抛光技术,从材料去除率、元件面形和表面粗糙度出发,对快速抛光技术应用于平面大口径元件的加工效果进行了探讨。研究了在快速抛光技术中压力和主轴转速对材料去除率的影响,验证了Preston公式在快速...
本文研究了应用于平面光学元件的快速抛光技术,从材料去除率、元件面形和表面粗糙度出发,对快速抛光技术应用于平面大口径元件的加工效果进行了探讨。研究了在快速抛光技术中压力和主轴转速对材料去除率的影响,验证了Preston公式在快速抛光中的适用性,快速抛光技术的去除效率可达10μm/h;其次,研究了聚氨酯抛光元件面形的精度,对于330mm×330mm元件可达~1.0λ(λ=632.8nm);最后,对快速抛光系统中抛光粉颗粒大小及形态随使用时间的变化进行了观测,并测量了使用300目和500目抛光粉时快速抛光元件表面粗糙度以及其随抛光粉使用时间的变化。
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关键词
聚氨酯
材料去除率
元件表面面形
表面
粗糙度
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职称材料
题名
光学元件聚氨酯抛光特性研究
被引量:
7
1
作者
李亚国
王健
许乔
杨炜
周治鑫
郭隐彪
机构
成都精密光学工程研究中心
厦门大学机电工程系
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期139-144,共6页
基金
国家高技术研究发展计划863-804项目资助
文摘
本文研究了应用于平面光学元件的快速抛光技术,从材料去除率、元件面形和表面粗糙度出发,对快速抛光技术应用于平面大口径元件的加工效果进行了探讨。研究了在快速抛光技术中压力和主轴转速对材料去除率的影响,验证了Preston公式在快速抛光中的适用性,快速抛光技术的去除效率可达10μm/h;其次,研究了聚氨酯抛光元件面形的精度,对于330mm×330mm元件可达~1.0λ(λ=632.8nm);最后,对快速抛光系统中抛光粉颗粒大小及形态随使用时间的变化进行了观测,并测量了使用300目和500目抛光粉时快速抛光元件表面粗糙度以及其随抛光粉使用时间的变化。
关键词
聚氨酯
材料去除率
元件表面面形
表面
粗糙度
Keywords
polyurethane
material removal rate
surface form
surface roughness
分类号
TQ171.734 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学元件聚氨酯抛光特性研究
李亚国
王健
许乔
杨炜
周治鑫
郭隐彪
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
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