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题名微偏振器阵列传感器对准集成技术
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作者
纪元宇
关传泷
褚金奎
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机构
大连理工大学机械工程学院
大连理工大学宁波研究院
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出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第5期272-282,共11页
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基金
国家自然科学基金项目(52175265,52275281)
中国博士后科学基金项目(2024M760329)。
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文摘
目前分焦面型偏振成像传感器的制备通常依赖于高精度的电子束光刻设备,纳米压印技术可以低成本高效率地实现微纳偏振器阵列在图像传感器表面的直接集成。针对微纳偏振器阵列集成工艺中毫米级小尺寸模板的微米级图形跨尺度对准问题,分析了工艺过程中对准偏差对微偏振器偏振性能的影响,进而设计了基于显微光学图像的对准方案,并搭建高精度对准装置。该装置利用高倍显微成像获取毫米尺寸纳米压印模板和传感器表面的微观结构,然后利用概率霍夫变换原理和离群值迭代剔除算法精确提取目标阵列方向信息和位置信息并计算偏差。最后使用精密微动平台实现对准调节,保证了传感器集成过程的对准技术要求,即扭转对准偏差不超过0.02°,像素位错对准偏差不超过像素的20%。该对准集成技术保证了微偏振器阵列传感器在500×500偏振像素范围内的像素对准,有效提高了传感器像素偏振响应的均匀性,相同偏振敏感方向的不同像素响应一致性强,减少了光学串扰造成的像素损失,提高了偏振探测精度。
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关键词
偏振成像
像素对准
显微图像
纳米压印
金属纳米光栅
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Keywords
polarization imaging
pixel alignment
microimage
nanoimprint lithography
metal nanograting
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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