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催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层(英文) 被引量:8
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作者 俞开潮 Yousef Hamadan +4 位作者 程银华 周锦兰 李正佳 于澍燕 焦庆 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第5期789-794,共6页
以N2,O2作载气,通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt-Pd合金薄膜。在Pd-Pt合金的沉积过程中,Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O2为载气、300... 以N2,O2作载气,通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt-Pd合金薄膜。在Pd-Pt合金的沉积过程中,Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O2为载气、300℃条件下,用Pd(η3-allyl)(hfac)和Pt(COD)Me2作前驱体共沉积制备Pd-Pt合金,得到含Pd37.2%,Pt62.8%且不含碳和氟的合金。 展开更多
关键词 催化增强化学蒸气沉积 聚酰亚胺 钯-铂合金
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基于硫蒸气处理转移的单层二硫化钼的荧光增强
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作者 王思雨 徐颖 刘玉春 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期110-116,共7页
采用化学气相沉积法在SiO2/Si衬底上制备了单层MoS2,再通过300℃硫蒸气处理用聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl Methacrylate,PMMA)转移下的单层MoS2.使用原子力显微镜、真空荧光检测和拉曼光谱等手段表征了样品的形貌和光致发光性能.结果表... 采用化学气相沉积法在SiO2/Si衬底上制备了单层MoS2,再通过300℃硫蒸气处理用聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl Methacrylate,PMMA)转移下的单层MoS2.使用原子力显微镜、真空荧光检测和拉曼光谱等手段表征了样品的形貌和光致发光性能.结果表明:经过硫蒸气处理转移后的单层MoS2的光致发光强度比由化学气相沉积法制备的未处理的单层MoS2的光致发光强度增强了约5倍.光致发光强度增强是由于在硫蒸气处理过程中,单层MoS2的部分硫空位被硫原子纳米团簇所填补,从而提高了光致发光效率.此外,分别将单层MoS2转移到SiO2/Si衬底、石英、三氧化铝及氟化镁衬底再经过硫处理后,也观察到了类似的荧光增强现象. 展开更多
关键词 二硫化钼 化学气相沉积 蒸气处理 硫空位 荧光增强
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纳米晶碳化钨薄膜的析氢催化性能 被引量:1
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作者 郑华均 王伟 +1 位作者 黄建国 马淳安 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期481-487,共7页
采用等离子体增强化学气相沉积法制备了具有纳米结构的碳化钨薄膜,采用XRD、 EDS、SEM方法表征了薄膜的表面形貌、化学组成和物相结构.这种碳化钨纳米晶薄膜具有巨大的电化学比表面积、很好的电催化活性和电化学稳定性.通过测试和计... 采用等离子体增强化学气相沉积法制备了具有纳米结构的碳化钨薄膜,采用XRD、 EDS、SEM方法表征了薄膜的表面形貌、化学组成和物相结构.这种碳化钨纳米晶薄膜具有巨大的电化学比表面积、很好的电催化活性和电化学稳定性.通过测试和计算表明,几何面积为1cm2碳化钨薄膜/泡沫镍电极、碳化钨薄膜/镍电极的电化学比表面积分别为83.21和 64.13cm2;该薄膜电极材料的a值为0.422-0.452V,接近低超电势材料;析氢交换电流密度为 4.02-4.22×10-4A/cm2;当超电势为263mV时,其析氢反应的活化能为45.62-45.77kJ/mol. 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积 碳化钨纳米晶薄膜 催化 氢析出反应
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新型Mn-Fe/ZSM-5催化剂的NH_3-SCR脱硝性能 被引量:4
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作者 苏丽清 邹春雷 +3 位作者 冯雅琳 何凯 吴旭 李哲 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第3期386-390,共5页
采用氨水沉淀-化学蒸气沉积法制备Mn-Fe/ZSM-5催化剂,并考察其NH_3-SCR脱硝性能。结果表明:Mn-Fe/ZSM-5催化剂具有很好的低温活性和较宽的活性温度范围,在180~450℃的温度范围,NO的脱除率达到98%以上。在该催化剂上活性组分具有很好的... 采用氨水沉淀-化学蒸气沉积法制备Mn-Fe/ZSM-5催化剂,并考察其NH_3-SCR脱硝性能。结果表明:Mn-Fe/ZSM-5催化剂具有很好的低温活性和较宽的活性温度范围,在180~450℃的温度范围,NO的脱除率达到98%以上。在该催化剂上活性组分具有很好的分散度、较高的还原能力、较适中的酸性和较好的低温抗硫性,且活性组分Mn和Fe之间存在着协同作用。在SO_2存在的条件下,Mn-Fe/ZSM-5催化剂的活性在240~450℃的温度范围内具有很好的抗硫性,NO的脱除率均高于98%. 展开更多
关键词 NOx NH3-SCR 氨水沉淀-化学蒸气沉积 Mn-Fe/ZSM-5催化 活性
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用DBD-PECVD方法合成碳纳米管
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作者 李飞 李社强 +2 位作者 江南 石晓光 冯克成 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期200-203,共4页
在大气压、较低温度下合成碳纳米管(CNTs),对于大规模的工业生产具有重要的意义。本文介绍了一种介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBDPECVD)的方法,并利用该方法制备碳纳米管。实验是在约0.5个大气压、700℃下,通入氢气和甲烷的... 在大气压、较低温度下合成碳纳米管(CNTs),对于大规模的工业生产具有重要的意义。本文介绍了一种介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBDPECVD)的方法,并利用该方法制备碳纳米管。实验是在约0.5个大气压、700℃下,通入氢气和甲烷的混合气体(CH4/H2为1∶10~1∶20),产生DBD等离子体;衬底为硅片;催化剂是用磁控溅射制备的Ni/Al薄膜,厚度分别为3nm和10nm。在扫描电镜下观察发现,碳纳米管的生长符合底端生长模式。在透射电镜下观察,碳纳米管没有竹节状结构。拉曼光谱分析表明,这种碳纳米管的结构缺陷比较多。 展开更多
关键词 碳纳米管 介质阻挡放电 等离子体增强化学气相沉积 催化
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