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基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
1
作者
金红霞
饶张飞
+1 位作者
秦凯亮
薛栋
《半导体技术》
2025年第10期1085-1092,共8页
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工...
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工艺与Si_3N_4阻隔膜技术制备了6英寸(1英寸=2.54 cm)硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)掺杂参考样片。采用傅里叶变换红外(FTIR)光谱技术对参考样片进行特征峰吸光度分析,构建硼、磷掺杂质量分数的定量校准模型,实现了双元素同步检测。校准集分析结果显示,该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测值与标准值的决定系数(R~2)分别达0.998和0.995;在验证集下该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测误差分别仅为0.22%和0.17%,各项指标均满足集成电路工艺的精度要求。
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关键词
介电薄膜
掺杂质量分数
全因子设计
阻隔膜技术
傅里
叶
变换
红外
(
ftir
)
光谱
校准
建
模
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职称材料
基于FTIR技术快速测定食用油中叔丁基对苯醌含量的研究
被引量：
4
2
作者
叶沁
卢文静
+3 位作者
谌迪
张岑
肖朝耿
孟祥河
《中国粮油学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第12期151-157,共7页
研究傅里叶红外光谱技术(FTIR)快速测定食用油中叔丁基对苯醌(TBBQ)含量的分析方法,系统地比较了FTIR结合朗伯比尔定律法及FTIR结合偏最小二乘法(PLS)的建模效果。结果表明,原始波谱经差谱和二阶导数预处理后在1656 cm^(-1)处采用朗伯...
研究傅里叶红外光谱技术(FTIR)快速测定食用油中叔丁基对苯醌(TBBQ)含量的分析方法,系统地比较了FTIR结合朗伯比尔定律法及FTIR结合偏最小二乘法(PLS)的建模效果。结果表明,原始波谱经差谱和二阶导数预处理后在1656 cm^(-1)处采用朗伯比尔定律法建模,所得的线性回归方程为TBBQ(μg/mL)=1089.5Abs-11.35,相关系数R^(2)为0.9981,15组煎炸油和10组市售食用油的外部验证实验的平均相对偏差分别仅为4.89%和6.80%。采用FTIR结合PLS法对原始波谱建模,建模区间为1675~1645 cm^(-1),模型相关系数R^(2)为0.9956,校正均方差为0.57,预测均方差为3.32,15组煎炸油和10组市售食用油的外部验证实验的平均相对偏差分别为8.53%和8.40%,说明基于FTIR的朗伯比尔定律法和PLS法均能有效测定食用油中TBBQ含量,其中朗伯比尔定律法预测准确度较高、模型稳定性更好。
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关键词
傅里
叶
红外
光谱
(
ftir
)
建
模
预测
食用油
叔丁基对苯醌(TBBQ)
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职称材料
题名
基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
1
作者
金红霞
饶张飞
秦凯亮
薛栋
机构
西安微电子技术研究所
出处
《半导体技术》
2025年第10期1085-1092,共8页
文摘
为解决复杂工艺环境下多元素掺杂质量分数在线监测的难题,提出一种基于晶圆级介电薄膜参考样片的掺杂质量分数设计与定量检测方法。基于全因子设计与中心复合分布,制定了介电薄膜掺杂参考样片设计方案,结合次常压化学气相沉积(SACVD)工艺与Si_3N_4阻隔膜技术制备了6英寸(1英寸=2.54 cm)硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)掺杂参考样片。采用傅里叶变换红外(FTIR)光谱技术对参考样片进行特征峰吸光度分析,构建硼、磷掺杂质量分数的定量校准模型,实现了双元素同步检测。校准集分析结果显示,该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测值与标准值的决定系数(R~2)分别达0.998和0.995;在验证集下该模型对硼、磷掺杂质量分数的预测误差分别仅为0.22%和0.17%,各项指标均满足集成电路工艺的精度要求。
关键词
介电薄膜
掺杂质量分数
全因子设计
阻隔膜技术
傅里
叶
变换
红外
(
ftir
)
光谱
校准
建
模
Keywords
dielectric thin film
doping concentration
full factorial design
barrier film techno-logy
fourier-transform infrared(
ftir
)spectroscopy calibration modeling
分类号
TN304.055 [电子电信]
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于FTIR技术快速测定食用油中叔丁基对苯醌含量的研究
被引量：
4
2
作者
叶沁
卢文静
谌迪
张岑
肖朝耿
孟祥河
机构
浙江省农业科学院食品科学研究所
浙江工业大学食品科学与工程学院
出处
《中国粮油学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第12期151-157,共7页
基金
国家自然科学基金(31972109,32001739)
浙江省基础公益研究项目(LGN21C200005)。
文摘
研究傅里叶红外光谱技术(FTIR)快速测定食用油中叔丁基对苯醌(TBBQ)含量的分析方法,系统地比较了FTIR结合朗伯比尔定律法及FTIR结合偏最小二乘法(PLS)的建模效果。结果表明,原始波谱经差谱和二阶导数预处理后在1656 cm^(-1)处采用朗伯比尔定律法建模,所得的线性回归方程为TBBQ(μg/mL)=1089.5Abs-11.35,相关系数R^(2)为0.9981,15组煎炸油和10组市售食用油的外部验证实验的平均相对偏差分别仅为4.89%和6.80%。采用FTIR结合PLS法对原始波谱建模,建模区间为1675~1645 cm^(-1),模型相关系数R^(2)为0.9956,校正均方差为0.57,预测均方差为3.32,15组煎炸油和10组市售食用油的外部验证实验的平均相对偏差分别为8.53%和8.40%,说明基于FTIR的朗伯比尔定律法和PLS法均能有效测定食用油中TBBQ含量,其中朗伯比尔定律法预测准确度较高、模型稳定性更好。
关键词
傅里
叶
红外
光谱
(
ftir
)
建
模
预测
食用油
叔丁基对苯醌(TBBQ)
Keywords
Fourier transform infrared(
ftir
)
modeling
prediction
edible oil
2-tert-butyl-1
4-benzoquinone(TBBQ)
分类号
TQ646 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于晶圆级介电薄膜掺杂参考样片的FTIR光谱校准建模应用
金红霞
饶张飞
秦凯亮
薛栋
《半导体技术》
2025
在线阅读
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职称材料
2
基于FTIR技术快速测定食用油中叔丁基对苯醌含量的研究
叶沁
卢文静
谌迪
张岑
肖朝耿
孟祥河
《中国粮油学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
4
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