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微尺度薄膜热导率测试技术
被引量：
10
1
作者
宋青林
夏善红
+1 位作者
陈绍凤
张建刚
《物理学进展》
CSCD
北大核心
2002年第3期283-295,共13页
随着器件尺寸进入到微 /纳米尺度 ,其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中 ,对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2 、SiNx、金刚石等薄膜在微小型器件中的用途及其热导率测试技术的发展 。
关键词
微尺度
测试技术
薄膜
热导率
傅立叶传热方程
扫描热显微镜
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职称材料
题名
微尺度薄膜热导率测试技术
被引量：
10
1
作者
宋青林
夏善红
陈绍凤
张建刚
机构
中国科学院电子学研究所
出处
《物理学进展》
CSCD
北大核心
2002年第3期283-295,共13页
基金
国家 973项目 (G1 9990 331 0 2 )
文摘
随着器件尺寸进入到微 /纳米尺度 ,其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中 ,对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2 、SiNx、金刚石等薄膜在微小型器件中的用途及其热导率测试技术的发展 。
关键词
微尺度
测试技术
薄膜
热导率
傅立叶传热方程
扫描热显微镜
Keywords
thin film
thermal conductivity
fourier thermal transfer formulation
scanning thermal microscopy
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微尺度薄膜热导率测试技术
宋青林
夏善红
陈绍凤
张建刚
《物理学进展》
CSCD
北大核心
2002
10
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