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七级偏转象差中的Trilemma效应 被引量:6
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作者 张晓兵 赵琴 +1 位作者 尹涵春 童林夙 《电子科学学刊》 CSCD 1997年第5期682-687,共6页
Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式... Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式,其中七阶Trilemma常数可以作为大偏转角偏转象差校正的判据。 展开更多
关键词 显象管 Trilemma效应 偏转象差
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大偏转角偏转象差的分析与校正 被引量:3
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作者 张晓兵 尹涵春 +1 位作者 张雄 童林夙 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1996年第3期19-23,共5页
应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场做五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法.
关键词 多极场 偏转 偏转象差 象差校正 电子偏转
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电子束曝光系统鞍形线圈的偏转象差与绕线分布
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作者 刘晗瑛 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1991年第1期47-52,共6页
本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线... 本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线宽度及绕线对称性对象差的影响)的计算结果指出:当鞍形磁偏转器(Saddle-type)以π/6为中心两侧对称布线时,因绕线分布所产生的偏转像差影响在微米、亚微米曝光系统中可以忽略。根据上述原理,我们研制成功一??种高精度WEDM偏转器,它有效的介决了CAD优化设计实际绕线工艺之间的一致性问题,这一偏转器的性能及其优越性,已在我们的微米圆束机中得到证实。 展开更多
关键词 电子束曝光 鞍形 线圈 偏转象差
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超大偏转角象差理论
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作者 童林夙 屠彦 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第12期1-9,共9页
本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差.给出了曲轴二级和三级象差公式.计算了均匀偏转场的曲轴二级、三级象差以及屏上光栅.并与一般直轴三级象差理论和解析公式的结果相比较.结果表明,随着偏转角的增大,曲轴三... 本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差.给出了曲轴二级和三级象差公式.计算了均匀偏转场的曲轴二级、三级象差以及屏上光栅.并与一般直轴三级象差理论和解析公式的结果相比较.结果表明,随着偏转角的增大,曲轴三级象差的影响亦增大.当偏转角大于120°时,必须考虑曲轴三级象差的作用. 展开更多
关键词 超大偏转 偏转象差 曲轴 显象管
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