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七级偏转象差中的Trilemma效应
被引量:
6
1
作者
张晓兵
赵琴
+1 位作者
尹涵春
童林夙
《电子科学学刊》
CSCD
1997年第5期682-687,共6页
Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式...
Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式,其中七阶Trilemma常数可以作为大偏转角偏转象差校正的判据。
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关键词
显象管
Trilemma效应
偏转象差
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职称材料
大偏转角偏转象差的分析与校正
被引量:
3
2
作者
张晓兵
尹涵春
+1 位作者
张雄
童林夙
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期19-23,共5页
应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场做五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法.
关键词
多极场
大
偏转
角
偏转象差
象差
校正
电子
偏转
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职称材料
电子束曝光系统鞍形线圈的偏转象差与绕线分布
3
作者
刘晗瑛
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1991年第1期47-52,共6页
本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线...
本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线宽度及绕线对称性对象差的影响)的计算结果指出:当鞍形磁偏转器(Saddle-type)以π/6为中心两侧对称布线时,因绕线分布所产生的偏转像差影响在微米、亚微米曝光系统中可以忽略。根据上述原理,我们研制成功一??种高精度WEDM偏转器,它有效的介决了CAD优化设计实际绕线工艺之间的一致性问题,这一偏转器的性能及其优越性,已在我们的微米圆束机中得到证实。
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关键词
电子束曝光
鞍形
线圈
偏转象差
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职称材料
超大偏转角象差理论
4
作者
童林夙
屠彦
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第12期1-9,共9页
本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差.给出了曲轴二级和三级象差公式.计算了均匀偏转场的曲轴二级、三级象差以及屏上光栅.并与一般直轴三级象差理论和解析公式的结果相比较.结果表明,随着偏转角的增大,曲轴三...
本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差.给出了曲轴二级和三级象差公式.计算了均匀偏转场的曲轴二级、三级象差以及屏上光栅.并与一般直轴三级象差理论和解析公式的结果相比较.结果表明,随着偏转角的增大,曲轴三级象差的影响亦增大.当偏转角大于120°时,必须考虑曲轴三级象差的作用.
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关键词
超大
偏转
角
偏转象差
曲轴
显象管
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职称材料
题名
七级偏转象差中的Trilemma效应
被引量:
6
1
作者
张晓兵
赵琴
尹涵春
童林夙
机构
东南大学电子所
出处
《电子科学学刊》
CSCD
1997年第5期682-687,共6页
文摘
Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式,其中七阶Trilemma常数可以作为大偏转角偏转象差校正的判据。
关键词
显象管
Trilemma效应
偏转象差
Keywords
Picture tube, Trilemma effect, Seventh-order deflection aberration
分类号
TN141.32 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
大偏转角偏转象差的分析与校正
被引量:
3
2
作者
张晓兵
尹涵春
张雄
童林夙
机构
东南大学电子学研究所
出处
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期19-23,共5页
文摘
应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场做五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法.
关键词
多极场
大
偏转
角
偏转象差
象差
校正
电子
偏转
Keywords
multipole field
aberration/large deflection angle.
分类号
TN101 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电子束曝光系统鞍形线圈的偏转象差与绕线分布
3
作者
刘晗瑛
机构
中国科学院电工研究所
出处
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1991年第1期47-52,共6页
文摘
本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线宽度及绕线对称性对象差的影响)的计算结果指出:当鞍形磁偏转器(Saddle-type)以π/6为中心两侧对称布线时,因绕线分布所产生的偏转像差影响在微米、亚微米曝光系统中可以忽略。根据上述原理,我们研制成功一??种高精度WEDM偏转器,它有效的介决了CAD优化设计实际绕线工艺之间的一致性问题,这一偏转器的性能及其优越性,已在我们的微米圆束机中得到证实。
关键词
电子束曝光
鞍形
线圈
偏转象差
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
超大偏转角象差理论
4
作者
童林夙
屠彦
机构
东南大学电子学研究所
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第12期1-9,共9页
文摘
本文采用曲轴电子光学理论,研究了超大偏转角情况下的偏转象差.给出了曲轴二级和三级象差公式.计算了均匀偏转场的曲轴二级、三级象差以及屏上光栅.并与一般直轴三级象差理论和解析公式的结果相比较.结果表明,随着偏转角的增大,曲轴三级象差的影响亦增大.当偏转角大于120°时,必须考虑曲轴三级象差的作用.
关键词
超大
偏转
角
偏转象差
曲轴
显象管
Keywords
Extra-large deflection angle,Deflection aberration,Curved axes,Uniform deflection field
分类号
TN141.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
七级偏转象差中的Trilemma效应
张晓兵
赵琴
尹涵春
童林夙
《电子科学学刊》
CSCD
1997
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大偏转角偏转象差的分析与校正
张晓兵
尹涵春
张雄
童林夙
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
1996
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
电子束曝光系统鞍形线圈的偏转象差与绕线分布
刘晗瑛
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1991
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
超大偏转角象差理论
童林夙
屠彦
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993
0
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职称材料
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