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偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
1
作者
陆梅君
金晓亮
+1 位作者
毛智彪
梁强
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期673-675,679,共4页
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,...
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,节省了光罩出版的时间。
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关键词
偏离最佳
光学邻近效应
制程窗口
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职称材料
题名
偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
1
作者
陆梅君
金晓亮
毛智彪
梁强
机构
上海宏力半导体制造有限公司
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期673-675,679,共4页
基金
上海浦东新区专项基金项目(PKJ2004-58)
文摘
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,节省了光罩出版的时间。
关键词
偏离最佳
光学邻近效应
制程窗口
Keywords
off-target
optical proximity correction
process window
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
陆梅君
金晓亮
毛智彪
梁强
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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