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题名深紫外投影物镜偏心调整机构的传动比分析(英文)
被引量：4
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作者
倪明阳
巩岩
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第12期3323-3330,共8页
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基金
国家科技重大专项02专项(2009ZX02005)
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文摘
在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式;然后建立偏心调整机构的运动学仿真模型,对输入/输出传动比进行模拟分析,并对光学元件沿X、Y向运动的位移特性进行分析;最后,分析机构沿X、Y向分别运动时正交方向的运动耦合误差。结果表明:通过理论计算和运动学仿真分析得到的传动比极其吻合;光学元件中心沿X、Y向的输出位移和驱动器输入位移均呈强线性关系;在驱动器输入位移为100μm时,光学元件沿X向的耦合误差为0.16%,沿Y向的耦合误差为0.497%;在驱动器输入位移为2 000μm时,光学元件X向的耦合误差增大到3.486%,沿Y向的耦合误差增大到9.888%;为后续研究提供了理论依据。
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关键词
偏心误差
偏心调整机构
运动学
速度瞬心法
传动比
耦合误差
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Keywords
eccentricity error
lateral adjustment barrel
kinematics
instantaneous center of zero velocity
transmission ratio
parasitic error
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名回转体零件的非接触自动测量
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作者
张宏伟
张国雄
裘祖荣
于复生
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机构
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
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出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004年第8期51-53,共3页
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文摘
介绍了三坐标测量机与光学非接触测头组成的回转体零件表面自动测量系统 ,通过设计具有偏心调整机构的回转工作台和安装摄像机监测系统 ,实现了回转体零件的非接触自动测量。
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关键词
三坐标测量机
非接触测量
回转体零件
自动测量
偏心调整机构
回转工作台
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Keywords
Coordinate Measuring Machines
Non-contact
Measurement
Revolving Parts
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分类号
TG839
[金属学及工艺—公差测量技术]
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