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脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响 被引量:12
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作者 魏永强 张艳霞 +2 位作者 文振华 蒋志强 冯宪章 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,39,共7页
目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律... 目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律。结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制备薄膜的典型生长形貌,随着脉冲偏压占空比的增加,薄膜表面的大颗粒数目明显减少。此外,脉冲偏压占空比的增加还引起多层薄膜中Al/Ti原子比的降低。结论 TiN/TiAlN多层薄膜主要以(111)晶面择优取向生长,此外还含有(311),(222)和(200)晶相结构。5种多层薄膜的纳米硬度均在33GPa以上,当脉冲偏压占空比为20%时,可实现超硬薄膜的制备。 展开更多
关键词 TIN TIALN 电弧离子镀 纳米硬度 微观结构 脉冲偏压占空比
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脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响 被引量:10
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作者 程芳 黄美东 +3 位作者 王萌萌 范喜迎 李云珂 刘野 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期100-106,共7页
采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织... 采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织结构和力学性能的影响。结果表明:随着脉冲偏压占空比的增加,TiCN涂层的表面大颗粒逐渐减少,表面形貌得到改善。涂层结构中,(111)晶面的择优取向趋势明显,沉积速率和显微硬度均出现先增大后减小的趋势,且在占空比为40%时均达最大值。TiCN涂层的最高硬度为3 800HV0.025,约为基底硬度的4倍。 展开更多
关键词 复合离子镀 脉冲偏压占空比 TiCN涂层 显微硬度
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脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律 被引量:4
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作者 魏永强 顾艳阳 +5 位作者 范梦圆 杨佳乐 张华森 张晓晓 钟素娟 廖志谦 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期57-67,共11页
随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜... 随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律,实现薄膜沉积工艺的优化。采用电弧离子镀方法,通过改变脉冲偏压占空比在M2高速钢基体和单晶硅片上沉积TiCrN薄膜。研究发现,脉冲偏压占空比的增大有助于减少膜层表面大颗粒数量,改善膜层表面质量;占空比从10%增加到60%,TiCrN薄膜厚度先增大后减小,30%占空比时,TiCrN薄膜的厚度达到最大值623.8 nm,60%占空比时,TiCrN薄膜的厚度达到最小值517.4 nm。当脉冲偏压占空比为10%时,Cr元素含量为33.9 at.%,晶粒尺寸达到最小值12.692 nm,纳米硬度和弹性模量分别为29.22 GPa和407.42 GPa。当脉冲偏压占空比为30%时,Cr元素含量达到最小值33.07 at.%,此时TiCrN薄膜晶粒尺寸达到最大值15.484 nm,纳米硬度达到最小值25.38 GPa,稳定摩擦因数达到最大值0.9。所制备的TiCrN薄膜均以(220)晶面为择优取向,晶粒尺寸在12.692~15.484 nm,纳米硬度都在25 GPa以上,是M2高速钢的2.8倍以上。在脉冲偏压占空比为20%时,TiCrN薄膜摩擦因数最小为0.68,磨痕宽度为0.63 mm,自腐蚀电位达到最大值-0.330 V(vs SCE),自腐蚀电流密度达到最小值0.255μA/cm~2,腐蚀速率最低,耐腐蚀性能最强。与M2高速钢基体相比,Ti CrN薄膜的硬度、耐腐蚀和摩擦磨损性能都显著提升,Cr元素和离子轰击作用是影响TiCrN薄膜性能的主要因素。研究结果为硬质薄膜工艺优化提供了一定的试验依据,TiCrN薄膜在刀具材料性能提升方面有较好的应用前景。 展开更多
关键词 电弧离子镀 脉冲偏压占空比 TiCrN薄膜 纳米硬度 耐蚀性 摩擦因数
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偏压占空比对类石墨碳薄膜摩擦学性能的影响 被引量:2
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作者 王永欣 赵文杰 +2 位作者 李金龙 王立平 陈建敏 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期38-43,49,共7页
利用磁控溅射技术在不同偏压占空比条件下制备类石墨碳(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕仪等分析薄膜的结构和机械性能,采用球-盘往复摩擦方式考察薄膜在大气及去离子水... 利用磁控溅射技术在不同偏压占空比条件下制备类石墨碳(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕仪等分析薄膜的结构和机械性能,采用球-盘往复摩擦方式考察薄膜在大气及去离子水中的摩擦学性能。结果表明:大气环境中,GLC薄膜的摩擦因数和磨损率随偏压占空比的升高而逐渐降低;水环境中,GLC薄膜的摩擦因数随偏压占空比的逐渐升高先降低后轻微升高,低占空比条件下GLC薄膜在水环境中摩擦接触面出现局部剥落,而高占空比条件下GLC薄膜可表现出低于干摩擦的稳定磨损;当占空比为50%-65%时,GLC薄膜在水环境中的摩擦学性能最佳。 展开更多
关键词 GLC薄膜 偏压占空比 摩擦学性能
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