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景深对HAADF-STEM原子分辨率三维重构的影响
被引量：
6
1
作者
沈若涵
明文全
+4 位作者
何玉涛
陈志逵
席海辉
何忆
陈江华
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期526-535,共10页
扫描透射电子显微镜高角环形暗场像通常被认为是样品内部结构的线性投影,被广泛地应用于倾转系列三维重构之中。但是,在像差校正电镜中,当电子束的横向分辨率提升到亚埃尺度时,其纵向景深也将缩小至纳米尺度。当景深小于样品的厚度时,...
扫描透射电子显微镜高角环形暗场像通常被认为是样品内部结构的线性投影,被广泛地应用于倾转系列三维重构之中。但是,在像差校正电镜中,当电子束的横向分辨率提升到亚埃尺度时,其纵向景深也将缩小至纳米尺度。当景深小于样品的厚度时,高角环形暗场像将从样品内部结构的线性投影转变为样品内某一深度的光学层析。本论文通过理论模拟,研究了纳米尺度景深下原子分辨率三维重构的可行性。研究发现,当景深小于样品厚度时,三维重构技术只能正确重构样品中的局部区域。该区域的大小与入射电子束景深呈正相关,位置与入射束的欠焦量有关。另外,研究还发现实际正确重构的区域相对于电子束名义聚焦位置偏上,即存在提前聚焦现象,其偏离程度与样品内原子的原子序数、会聚角以及加速电压有关。当原子序数越大或会聚角越大时,其与名义聚焦位置偏离越大。
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关键词
扫描透射电子显微镜
高角环形暗场像
倾转系列三维重构
景深
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职称材料
题名
景深对HAADF-STEM原子分辨率三维重构的影响
被引量：
6
1
作者
沈若涵
明文全
何玉涛
陈志逵
席海辉
何忆
陈江华
机构
湖南大学材料科学与工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期526-535,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11427806,No.51831004,No.51671082,No.11904093)
国家重点研发计划资助项目(No.2016YFB0300801)。
文摘
扫描透射电子显微镜高角环形暗场像通常被认为是样品内部结构的线性投影,被广泛地应用于倾转系列三维重构之中。但是,在像差校正电镜中,当电子束的横向分辨率提升到亚埃尺度时,其纵向景深也将缩小至纳米尺度。当景深小于样品的厚度时,高角环形暗场像将从样品内部结构的线性投影转变为样品内某一深度的光学层析。本论文通过理论模拟,研究了纳米尺度景深下原子分辨率三维重构的可行性。研究发现,当景深小于样品厚度时,三维重构技术只能正确重构样品中的局部区域。该区域的大小与入射电子束景深呈正相关,位置与入射束的欠焦量有关。另外,研究还发现实际正确重构的区域相对于电子束名义聚焦位置偏上,即存在提前聚焦现象,其偏离程度与样品内原子的原子序数、会聚角以及加速电压有关。当原子序数越大或会聚角越大时,其与名义聚焦位置偏离越大。
关键词
扫描透射电子显微镜
高角环形暗场像
倾转系列三维重构
景深
Keywords
scanning transmission electron microscopy
high angle annular dark field
tilt series tomography
depth of field
分类号
O463.1 [机械工程—光学工程]
TG115.215.3 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
景深对HAADF-STEM原子分辨率三维重构的影响
沈若涵
明文全
何玉涛
陈志逵
席海辉
何忆
陈江华
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
6
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