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快速付里叶变换在俄歇电子能谱数据分析中的应用
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作者 龚彬 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期39-45,共7页
本文讨论用快速付里叶变换法对俄歇直接谱进行反褶积和光顺处理,进而弥补常规仪器分辨率或信噪比的不够.在频域采用“慢截止”方式抑制高次谐波,有效地控制了反褶积结果的发散和寄生振荡的产生.此反褶积方法能明显地提高谱图的分辨率,... 本文讨论用快速付里叶变换法对俄歇直接谱进行反褶积和光顺处理,进而弥补常规仪器分辨率或信噪比的不够.在频域采用“慢截止”方式抑制高次谐波,有效地控制了反褶积结果的发散和寄生振荡的产生.此反褶积方法能明显地提高谱图的分辨率,并同时使曲线光顺.作为实例,对一系列部分氧化的铝试样进行了实验测试和数据处理. 展开更多
关键词 付里叶变换 俄歇电子谱法 反褶积
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因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用 被引量:2
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作者 李敏 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期13-20,共8页
将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探... 将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 氧化钽 因子分析
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俄歇定量分析基体效应校正因子的获得
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作者 杨新菊 陆明 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期180-185,共6页
本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结... 本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 定量分析 合金 表面
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薄膜定量分析中的Auger线型分析方法 被引量:2
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作者 张庆瑜 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期147-153,共7页
采用Auger线型分析方法因子分析方法和已知组元强度的定量解谱技术,对电子束辅助N离子注入Si和磁控溅射方法制备的TiNx薄膜的高分辨率俄歇电子能谱(AES),进行了定量分析.
关键词 俄歇电子谱法 定量分析 线型分析 薄膜
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用于软X射线激光实验的铝衰减膜的测量 被引量:7
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作者 杜杰 王珏 +3 位作者 杜保旗 周斌 华荫曾 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期81-87,共7页
对不同方法制备的不同厚度的铝衰减膜,用微机控制α测厚仪测量了膜的质量厚度以及膜厚均匀性,用Auser电子能谱(AES)对铝膜进行了组分的表面和深度分布分析,根据铝KLL Auger特征谱揭示了氧化膜的化学组分并测量了氧化膜厚度随放置时间的... 对不同方法制备的不同厚度的铝衰减膜,用微机控制α测厚仪测量了膜的质量厚度以及膜厚均匀性,用Auser电子能谱(AES)对铝膜进行了组分的表面和深度分布分析,根据铝KLL Auger特征谱揭示了氧化膜的化学组分并测量了氧化膜厚度随放置时间的变化,还讨论了膜中其它杂质含量的上限。 展开更多
关键词 X射线激光 衰减膜 俄歇电子谱法
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微通道板表面发雾的AES分析 被引量:2
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作者 刘术林 张继胜 +1 位作者 张海峰 赵俊 《应用光学》 CAS CSCD 1993年第6期25-29,共5页
应用俄歇电子能谱对微通道板表面发雾区域进行分析。分析结果表明,发雾区碳含量比正常区高三倍。由此可推测出,发雾是由碳污染引起的,而这种碳污染很可能是残留于微通道板上的某些有机物在烧氢时碳化所致。
关键词 微通道板 碳污染 俄歇电子谱法
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GaP低阻欧姆接触层的AES和SIMS分析
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作者 张福甲 李宝军 卓肇龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期247-252,共6页
本文用AES和SIMS分析讨论了p-GaP与三层金属膜Pd/Zn/Pd形成良好欧姆接触层的性质.
关键词 欧姆接触 俄歇电子谱法
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