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一个用于俄歇微分析的场发射枪探针系统
1
作者
雷贺宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期270-276,共7页
高分辩俄歇分析要求一次电子束在低的束能下具有足够的束流和尽可能小的束斑。为了这一目的发展了全静电式电子探针系统。该系统是由一个具有加速单透镜的场发射电子枪及一个不对称静电物镜所组成,它可以方便地与CMA 等多数电子能量分...
高分辩俄歇分析要求一次电子束在低的束能下具有足够的束流和尽可能小的束斑。为了这一目的发展了全静电式电子探针系统。该系统是由一个具有加速单透镜的场发射电子枪及一个不对称静电物镜所组成,它可以方便地与CMA 等多数电子能量分析器相配合,并且可以工作在相当低的束能下(<1 keV)而具有良好的光学特性。实验结果表明,当试样工作距离为2.5cm,束能为10keV 时,可以在100(?)的探针直径内获得0.1nA 的束流。
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关键词
电子显
微
镜
探针系统
俄歇微分析
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职称材料
题名
一个用于俄歇微分析的场发射枪探针系统
1
作者
雷贺宁
机构
北京轻工业学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期270-276,共7页
文摘
高分辩俄歇分析要求一次电子束在低的束能下具有足够的束流和尽可能小的束斑。为了这一目的发展了全静电式电子探针系统。该系统是由一个具有加速单透镜的场发射电子枪及一个不对称静电物镜所组成,它可以方便地与CMA 等多数电子能量分析器相配合,并且可以工作在相当低的束能下(<1 keV)而具有良好的光学特性。实验结果表明,当试样工作距离为2.5cm,束能为10keV 时,可以在100(?)的探针直径内获得0.1nA 的束流。
关键词
电子显
微
镜
探针系统
俄歇微分析
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一个用于俄歇微分析的场发射枪探针系统
雷贺宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989
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