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侧墙工艺研究及其在集成电路中的应用: 1; 作者余山章定康黄敞《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1993年第2期40-42,共3页; 本文对氮化硅侧墙、LPCVD SiO_2侧墙及3层结构多晶硅侧墙工艺进行了研究,并讨论了这些侧墙工艺在集成电路中的应用。; 关键词集成电路侧墙工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

铁路客车侧墙大板工艺与侧墙小板工艺分析被引量：1: 2; 作者黄治轶耿非李威《城市轨道交通研究》 2008年第5期29-32,共4页; 研究分析了铁路客车侧墙大板工艺与侧墙小板工艺的制造工艺流程。通过两种制造工艺的对比分析可知:侧墙小板工艺流程复杂,配套技术装备投入很大,对原材料的技术要求低,应用的适应性强;而侧墙大板工艺流程简单,配套技术装备投入较少,但... 展开更多; 关键词铁路客车钢结构侧墙制造工艺对比分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

同步辐射x射线光刻实验研究被引量：1: 3; 作者谢常青陈梦真 +4 位作者赵玲莉孙宝银韩敬东朱樟震张菊芳《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期45-46,共2页; 采用侧墙工艺技术研制深亚微米ｘ射线掩模，并在北京同步辐射装置光刻束线上进行了同步辐射ｘ射线曝光实验。; 关键词同步辐射 X射线光刻 X射线掩模侧墙工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料