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用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能
被引量：
1
1
作者
丁建宁
朱守星
+4 位作者
范真
李长生
陈曦
蔡兰
杨继昌
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期230-232,237,共4页
本文用侧向力显微镜 (LateralForceMicroscope ,LFM)研究不同厚度类金刚石 (Diamond LikeCarbon ,DLC)膜的摩擦性能。对厚度为 1 5 3 4nm ,6 4 9nm ,1 2 0 7nmDLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究 ,实验表明施加较低载荷 ,摩擦力和法...
本文用侧向力显微镜 (LateralForceMicroscope ,LFM)研究不同厚度类金刚石 (Diamond LikeCarbon ,DLC)膜的摩擦性能。对厚度为 1 5 3 4nm ,6 4 9nm ,1 2 0 7nmDLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究 ,实验表明施加较低载荷 ,摩擦力和法向力成线性关系 ,符合Amontons’s定律 ;而膜厚为 4 4 8nm、2 78nm样品由于粗糙度、峰态和偏态的差异导致摩擦力和载荷关系不明显 ,研究指出针尖和薄膜的表面接触可以简化为Tomlinson模型 。
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关键词
侧向力显微镜
DLC膜
摩擦性能
纳米薄膜
类金刚石膜
标定
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职称材料
用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究
2
作者
解国新
丁建宁
+2 位作者
范真
付永忠
朱守星
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期421-425,共5页
采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的G eSbT e薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能,考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响,对比不同成分的G eSbT e薄膜的摩擦特性.结果表明:在相对湿度较大时,扫描速度对针尖和G ...
采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的G eSbT e薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能,考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响,对比不同成分的G eSbT e薄膜的摩擦特性.结果表明:在相对湿度较大时,扫描速度对针尖和G eSbT e薄膜之间的摩擦力影响很大;在其它条件相同、外加载荷较大时,同一载荷下的摩擦力与表面粗糙度呈线性关系,但在外加载荷较小的情况下,二者呈现非线性变化规律;相对湿度对G e2Sb2T e5薄膜和针尖的粘附力影响较G eSb2T e4薄膜弱,且粘附力使得摩擦系数减小;在同一相对湿度下,由于薄膜成分的变化导致硬度不同,其对薄膜的摩擦性能也有一定影响.
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关键词
侧向力显微镜
(LFM)
GeSbTe薄膜
摩擦
粘附
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职称材料
题名
用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能
被引量：
1
1
作者
丁建宁
朱守星
范真
李长生
陈曦
蔡兰
杨继昌
机构
江苏大学微纳米技术研究中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期230-232,237,共4页
基金
国家自然科学基金资助 (No.5 0 2 75 0 65 )
教育部优秀青年教师资助计划项目
全国博士学位论文作者专项资金资助 (No .2 0 0 3 3 0 )
文摘
本文用侧向力显微镜 (LateralForceMicroscope ,LFM)研究不同厚度类金刚石 (Diamond LikeCarbon ,DLC)膜的摩擦性能。对厚度为 1 5 3 4nm ,6 4 9nm ,1 2 0 7nmDLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究 ,实验表明施加较低载荷 ,摩擦力和法向力成线性关系 ,符合Amontons’s定律 ;而膜厚为 4 4 8nm、2 78nm样品由于粗糙度、峰态和偏态的差异导致摩擦力和载荷关系不明显 ,研究指出针尖和薄膜的表面接触可以简化为Tomlinson模型 。
关键词
侧向力显微镜
DLC膜
摩擦性能
纳米薄膜
类金刚石膜
标定
Keywords
DLC film,LFM,Friction,Calibration
分类号
TB43 [一般工业技术]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究
2
作者
解国新
丁建宁
范真
付永忠
朱守星
机构
江苏大学微纳米技术研究中心
东华大学机械工程学院
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期421-425,共5页
基金
全国优秀博士学位论文专项基金资助项目(200330)
江苏大学微纳米科学技术研究中心开放基金资助项目(1291400001)
江苏省教育厅基金资助项目(03KJD460066)
文摘
采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的G eSbT e薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能,考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响,对比不同成分的G eSbT e薄膜的摩擦特性.结果表明:在相对湿度较大时,扫描速度对针尖和G eSbT e薄膜之间的摩擦力影响很大;在其它条件相同、外加载荷较大时,同一载荷下的摩擦力与表面粗糙度呈线性关系,但在外加载荷较小的情况下,二者呈现非线性变化规律;相对湿度对G e2Sb2T e5薄膜和针尖的粘附力影响较G eSb2T e4薄膜弱,且粘附力使得摩擦系数减小;在同一相对湿度下,由于薄膜成分的变化导致硬度不同,其对薄膜的摩擦性能也有一定影响.
关键词
侧向力显微镜
(LFM)
GeSbTe薄膜
摩擦
粘附
Keywords
lateral force microscope （LFM）
GeSbTe films
friction
adhesive force
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能
丁建宁
朱守星
范真
李长生
陈曦
蔡兰
杨继昌
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究
解国新
丁建宁
范真
付永忠
朱守星
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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