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单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究
被引量：
2
1
作者
许宜申
王寿荣
王元山
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1034-1038,共5页
设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空...
设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空气中的驱动性能进行了初步测试.测试结果表明,该单片三轴硅微机械振动陀螺仪驱动模态的实际谐振频率与理论值之间的最大误差小于5%,满足设计要求.
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关键词
微机械振动陀螺仪
三轴陀螺仪
体硅溶解薄片法
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职称材料
题名
单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究
被引量：
2
1
作者
许宜申
王寿荣
王元山
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1034-1038,共5页
基金
863计划（2002AA812038）资助项目
文摘
设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空气中的驱动性能进行了初步测试.测试结果表明,该单片三轴硅微机械振动陀螺仪驱动模态的实际谐振频率与理论值之间的最大误差小于5%,满足设计要求.
关键词
微机械振动陀螺仪
三轴陀螺仪
体硅溶解薄片法
Keywords
micromachined vibratory gyroscope, triaxial gyroscope, bulk silicon dissolved wafer process
分类号
TN36 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究
许宜申
王寿荣
王元山
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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