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梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)
被引量：
1
1
作者
何洪涛
徐永青
+3 位作者
杨拥军
吕苗
郑锋
吝海峰
《微纳电子技术》
CAS
2002年第11期25-28,共4页
提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度...
提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。
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关键词
微机电系统
正面释放
体
硅
工艺
体硅加速度计
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职称材料
题名
梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)
被引量：
1
1
作者
何洪涛
徐永青
杨拥军
吕苗
郑锋
吝海峰
机构
河北半导体研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第11期25-28,共4页
文摘
提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。
关键词
微机电系统
正面释放
体
硅
工艺
体硅加速度计
Keywords
MEMS
frontside-release bulk-silicon process
accelerometer
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)
何洪涛
徐永青
杨拥军
吕苗
郑锋
吝海峰
《微纳电子技术》
CAS
2002
1
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