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题名扫描电子显微镜中巧用低角电子成像
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作者
李琳
刘丽月
陈燕
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机构
上海交通大学化学化工学院
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出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第1期29-35,共7页
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文摘
利用扫描电子显微镜对不导电样品的成像过程中,荷电效应会导致图像产生畸变、漂移、亮点亮线等缺陷。二次电子成像形貌立体感较好但是容易产生荷电现象,背散射电子成像受荷电影响较小但是一般形貌衬度较差。文章借助Apreo2S场发射扫描电镜,针对不导电样品在不镀膜的情况下,通过优化工作模式、探测器和工作距离等参数来调控电子信号,巧用低角电子,得到形貌衬度明显的高分辨图像。从二次电子角度出发,使用Optipan模式配合T2探测器通过缩短工作距离以收集低角二次电子从而减弱荷电效应。从背散射电子角度出发,放大倍数较低时可使用Optipan模式配合ETD探测器获得形貌立体感好的高分辨图像,放大倍数高时可使用Immersion模式配合T1探测器缩短工作距离下以得到最佳图像。
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关键词
扫描电子显微镜
荷电效应
形貌衬度
低角电子
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Keywords
Scanning electron microscope
Charge effect
Topographical contrast
Low angle electrons
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
TQ343.1
[化学工程—化纤工业]
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