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低电压驱动微流控芯片二氧化硅绝缘薄膜的研究: 1; 作者吕宏峰闫卫平李杰超《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1204-1206,1211,共4页; 采用电子束蒸发法在玻璃基底上制备了二氧化硅薄膜,利用原子力显微镜(AFM)、台阶仪、X射线衍射仪(XRD),分别对不同条件下制备的二氧化硅薄膜的表面形貌、膜厚、结构进行了表征,并采用金属/绝缘膜/金属(MIM)结构对薄膜的I-V电学特性进行... 展开更多; 关键词二氧化硅绝缘薄膜低电压驱动微流控芯片; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于锆钛酸铅的低电压驱动MEMS电场传感器研究被引量：3: 2; 作者雷虎成夏善红 +6 位作者彭春荣毋正伟张洲威刘俊彭思敏刘向明高雅浩《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期150-157,共8页; 该文提出一种基于锆钛酸铅(PZT)的低电压驱动微机电系统(MEMS)电场传感器。该传感器基于电荷感应原理,其敏感单元由固定电极和可动电极构成。固定电极与可动电极均为感应电极,同时两者又是屏蔽电极。在PZT压电材料的驱动下,可动电极产... 展开更多; 关键词电场传感器锆钛酸铅低电压驱动微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

窄视角蓝相液晶显示器被引量：7: 3; 作者刘建龙马红梅孙玉宝《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期847-852,共6页; 基于克尔效应的聚合物稳定蓝相液晶显示器被设计出窄视角显示模式,用于公共场所下私人信息的保护。通过使用几个简单的单轴膜,聚合物稳定蓝相液晶显示器就可以呈现出极佳的窄视角效果,即,对比度大于10°的可视区在20°极角范围... 展开更多; 关键词聚合物稳定蓝相液晶窄视角信息保护低电压驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于层叠式平面DE作动器的柔性薄壁结构振动控制研究被引量：1: 4; 作者薛青刘冲 +1 位作者罗亚军谢石林《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期1028-1035,共8页; 为了降低单层平面DE作动器的控制电压,提出了一种层叠式平面DE作动器,并开展了基于层叠式平面DE作动器的柔性薄壁结构振动主动控制研究。结合介电弹性体(DE)材料的力电耦合模型,基于哈密顿变分原理,建立了含层叠式平面DE作动器的柔性悬... 展开更多; 关键词层叠式平面DE作动器柔性薄壁结构振动主动控制低电压驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低电压驱动微流控芯片二氧化硅绝缘薄膜的研究: 1; 作者吕宏峰闫卫平李杰超; 机构大连理工大学电子科学与技术学院; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1204-1206,1211,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(61074166); 文摘采用电子束蒸发法在玻璃基底上制备了二氧化硅薄膜,利用原子力显微镜(AFM)、台阶仪、X射线衍射仪(XRD),分别对不同条件下制备的二氧化硅薄膜的表面形貌、膜厚、结构进行了表征,并采用金属/绝缘膜/金属(MIM)结构对薄膜的I-V电学特性进行了分析。结果表明玻璃基底温度在300℃条件下生长的4μm厚度的二氧化硅薄膜,其表面均匀平整,耐压能力>200V,能够承受500kV/cm以上的场强,满足作为低电压驱动微流控芯片绝缘薄膜的要求,并在样品驱动的应用中得到验证。; 关键词二氧化硅绝缘薄膜低电压驱动微流控芯片; Keywords SiO2 insulating film low voltage-driven microfluidic chip; 分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于锆钛酸铅的低电压驱动MEMS电场传感器研究被引量：3: 2; 作者雷虎成夏善红彭春荣毋正伟张洲威刘俊彭思敏刘向明高雅浩; 机构中国科学院空天信息创新研究院传感技术联合国家重点实验室中国科学院大学电子电气与通信工程学院; 出处《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期150-157,共8页; 基金国家自然科学基金(62031025,61971398,41775024) 中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。; 文摘该文提出一种基于锆钛酸铅(PZT)的低电压驱动微机电系统(MEMS)电场传感器。该传感器基于电荷感应原理,其敏感单元由固定电极和可动电极构成。固定电极与可动电极均为感应电极,同时两者又是屏蔽电极。在PZT压电材料的驱动下,可动电极产生垂直于敏感芯片基底的振动并且与固定电极形成交互屏蔽,当存在待测电场时,分别在可动电极和固定电极上产生相位差为180°的感应电流信号。该文进行了传感器的设计和有限元仿真,提出敏感微结构的加工工艺流程,突破了基于PZT压电材料的可动电极MEMS工艺兼容制备技术,完成了敏感芯片制备,对传感器进行了性能测试。该传感器具有工作电压低的突出优点。实验测试表明,在0~50 kV/m电场强度范围内,采用1 V交流驱动电压,电场传感器的灵敏度为0.292 mV/(kV/m),线性度为2.89%。; 关键词电场传感器锆钛酸铅低电压驱动微机电系统; Keywords Electric field sensor Lead Zirconate Titanate(PZT) Low driving voltage Micro-Electro-Mechanical System(MEMS); 分类号 TN3 [电子电信—物理电子学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名窄视角蓝相液晶显示器被引量：7: 3; 作者刘建龙马红梅孙玉宝; 机构河北工业大学应用物理系; 出处《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期847-852,共6页; 基金国家自然科学基金(No.11304074 No.61475042 +2 种基金 No.11274088) 河北高校重点学科建设项目(No.GCC2014048)~~; 文摘基于克尔效应的聚合物稳定蓝相液晶显示器被设计出窄视角显示模式,用于公共场所下私人信息的保护。通过使用几个简单的单轴膜,聚合物稳定蓝相液晶显示器就可以呈现出极佳的窄视角效果,即,对比度大于10°的可视区在20°极角范围内。此外,该显示器的驱动电压为14V,最大透过率为71%,不仅满足了当前主流非晶硅薄膜晶体管的驱动需求,还进一步提高了背光源的光利用率。本文提出的窄视角蓝相液晶显示器与传统的窄视角模式相比较而言,没有复杂的电极结构以及繁琐的补偿方案,较3M公司的保护膜而言,具有生产成本低的优势,这些优势使其具备了在工业上生产的条件。在信息时代,窄视角液晶显示器将在防止私人信息的泄露上扮演越来越重要的作用。; 关键词聚合物稳定蓝相液晶窄视角信息保护低电压驱动; Keywords polymer-stabilized phase liquid crystal narrow viewing angle information protection low operating voltage; 分类号 TN141.9 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于层叠式平面DE作动器的柔性薄壁结构振动控制研究被引量：1: 4; 作者薛青刘冲罗亚军谢石林; 机构西安交通大学机械结构强度与振动实验室西安交通大学航天航空学院; 出处《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期1028-1035,共8页; 基金国家自然科学基金(11872290) 国家自然科学联合基金(U1430129)。; 文摘为了降低单层平面DE作动器的控制电压,提出了一种层叠式平面DE作动器,并开展了基于层叠式平面DE作动器的柔性薄壁结构振动主动控制研究。结合介电弹性体(DE)材料的力电耦合模型,基于哈密顿变分原理,建立了含层叠式平面DE作动器的柔性悬臂梁系统振动控制微分方程。基于比例反馈控制策略,利用不同层数的层叠式平面DE作动器对悬臂梁系统进行了振动主动控制的仿真研究。结果表明,层叠式平面DE作动器对柔性薄壁结构具有良好的振动控制效果,同时相比于单层平面DE作动器,控制所需电压可以降低30%以上,从而为DE作动器的低电压驱动应用提供了一条可行的技术途径。; 关键词层叠式平面DE作动器柔性薄壁结构振动主动控制低电压驱动; Keywords laminated planar DE actuator flexible thin-walled structure active vibration control low-voltage driving; 分类号 O328 [理学—一般力学与力学基础]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	低电压驱动微流控芯片二氧化硅绝缘薄膜的研究	吕宏峰闫卫平李杰超	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于锆钛酸铅的低电压驱动MEMS电场传感器研究	雷虎成夏善红彭春荣毋正伟张洲威刘俊彭思敏刘向明高雅浩	《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	窄视角蓝相液晶显示器	刘建龙马红梅孙玉宝	《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心	2016	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于层叠式平面DE作动器的柔性薄壁结构振动控制研究	薛青刘冲罗亚军谢石林	《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料