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低温溶液加工法制备氧化锌薄膜晶体管
1
作者
兰林锋
宋威
+1 位作者
史文
彭俊彪
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期98-102,共5页
为适应柔性有源有矩阵有机发光二极管(AMOLED)等新型显示技术发展的需要,将低温溶液处理的氧化锌作为半导体层、电化学氧化的氧化铝钕作为栅绝缘层,制备了氧化锌薄膜晶体管(TFT).制备氧化锌半导体层所用的前驱体溶液为无碳的Zn(OH)x-(NH...
为适应柔性有源有矩阵有机发光二极管(AMOLED)等新型显示技术发展的需要,将低温溶液处理的氧化锌作为半导体层、电化学氧化的氧化铝钕作为栅绝缘层,制备了氧化锌薄膜晶体管(TFT).制备氧化锌半导体层所用的前驱体溶液为无碳的Zn(OH)x-(NH3)y(2-x)+水溶液,这种氨络合物溶液制备简单、成本低,并且由于容易形成高活性的氢氧自由基,使得氨-金属之间的分解所需要的活化能较低,生成氧化锌所需的能量较小,可以在180℃的较低温度下获得氧化锌多晶薄膜.所制备的TFT器件的最高迁移率可达0.9 cm2/(V·s).这种低温氧化锌薄膜工艺与室温电化学氧化的栅绝缘层工艺相结合,具有温度低和迁移率高的特点,完全能与柔性衬底兼容,在柔性显示中具有很大的应用前景.
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关键词
薄膜晶体管
氧化锌
低温溶液加工
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职称材料
题名
低温溶液加工法制备氧化锌薄膜晶体管
1
作者
兰林锋
宋威
史文
彭俊彪
机构
华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室
出处
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期98-102,共5页
基金
国家"863"计划项目(2014AA032702)
国家自然科学基金资助项目(61204087
+4 种基金
51173049
61306099)
广州市珠江科技新星项目(2014J2200053)
华南理工大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2014ZM0003
2014ZZ0028)~~
文摘
为适应柔性有源有矩阵有机发光二极管(AMOLED)等新型显示技术发展的需要,将低温溶液处理的氧化锌作为半导体层、电化学氧化的氧化铝钕作为栅绝缘层,制备了氧化锌薄膜晶体管(TFT).制备氧化锌半导体层所用的前驱体溶液为无碳的Zn(OH)x-(NH3)y(2-x)+水溶液,这种氨络合物溶液制备简单、成本低,并且由于容易形成高活性的氢氧自由基,使得氨-金属之间的分解所需要的活化能较低,生成氧化锌所需的能量较小,可以在180℃的较低温度下获得氧化锌多晶薄膜.所制备的TFT器件的最高迁移率可达0.9 cm2/(V·s).这种低温氧化锌薄膜工艺与室温电化学氧化的栅绝缘层工艺相结合,具有温度低和迁移率高的特点,完全能与柔性衬底兼容,在柔性显示中具有很大的应用前景.
关键词
薄膜晶体管
氧化锌
低温溶液加工
Keywords
thin film transistors
zinc oxide
low-temperature solution processing
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低温溶液加工法制备氧化锌薄膜晶体管
兰林锋
宋威
史文
彭俊彪
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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