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新型低温温度传感器的研制被引量：2: 1; 作者孙凤伟王颖陈鸿彦《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1-4,46,共5页; 对几种新型的低温温度传感器技术做了简单的介绍 ,研制了新型的低温温度传感器并做了大量的试验。试验结果表明 ,这几种传感器可以替代热敏电阻和热电偶传感器在火箭发动机试验中的应用 ,其精度、稳定性、互换性、自热效应等特性都优于... 展开更多; 关键词低温温度传感器稳定性互换性自热效应热敏电阻热电偶传感器火箭发动机试验; 在线阅读下载PDF 职称材料

国外低温温度传感器的研制现状被引量：6: 2; 作者王克军《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期49-53,64,共6页; 温度测量是低温研究部门的一个普遍项目。对近年来一些国家 (特别是发达国家 )的低温温度传感器研制、应用情况做了介绍 ,并分析了今后温度传感器的发展趋势 ,以及我国与国外存在的主要差距。; 关键词低温温度传感器研制现状热电阻温度计温度测量热敏电阻温度计热电偶温度计; 在线阅读下载PDF 职称材料

原位封装MEMS低温温度传感器被引量：1: 3; 作者黎云尤敏敏 +1 位作者林祖德刘景全《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第4期66-69,共4页; 针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化锆薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器。通过微加工工艺,将传感器制备与封装相结合,有效简化传统低温温度传感器的制备流程,缩小低温温度传感器尺寸。研制的低温温度传感器尺寸仅为3.2... 展开更多; 关键词低温温度传感器封装微机电系统(MEMS); 在线阅读下载PDF 职称材料

不同温度灵敏度ZrN_(x)O_(y)薄膜温度传感器的磁感应强度及角度依赖性: 4; 作者耿镇姜迪 +6 位作者谢连城龚冬良刘辉明缪志聪韩叶茂黄荣进李来风《低温工程》 2025年第4期15-21,共7页; 利用综合物性测量系统(PPMS)测试研究了两个不同测温范围和不同温度灵敏度的ZrN_(x)O_(y)薄膜温度传感器在低温强磁场下磁阻随磁感应强度和角度的变化规律。通过等温磁场扫描,发现两温度传感器在不同温度下本征磁阻随磁感应强度的非单... 展开更多; 关键词低温温度传感器磁致电阻角度依赖测温偏差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型低温温度传感器的研制被引量：2: 1; 作者孙凤伟王颖陈鸿彦; 机构北京航天试验技术研究所; 出处《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1-4,46,共5页; 文摘对几种新型的低温温度传感器技术做了简单的介绍 ,研制了新型的低温温度传感器并做了大量的试验。试验结果表明 ,这几种传感器可以替代热敏电阻和热电偶传感器在火箭发动机试验中的应用 ,其精度、稳定性、互换性、自热效应等特性都优于热敏电阻和热电偶传感器。; 关键词低温温度传感器稳定性互换性自热效应热敏电阻热电偶传感器火箭发动机试验; Keywords cryogenic temperature sensor silicon diode; 分类号 V433.9 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程] TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名国外低温温度传感器的研制现状被引量：6: 2; 作者王克军; 机构中国航天科技集团公司一院; 出处《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期49-53,64,共6页; 文摘温度测量是低温研究部门的一个普遍项目。对近年来一些国家 (特别是发达国家 )的低温温度传感器研制、应用情况做了介绍 ,并分析了今后温度传感器的发展趋势 ,以及我国与国外存在的主要差距。; 关键词低温温度传感器研制现状热电阻温度计温度测量热敏电阻温度计热电偶温度计; Keywords temperature sensor low temperature review; 分类号 TB942 [机械工程—测试计量技术及仪器] TP212. [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名原位封装MEMS低温温度传感器被引量：1: 3; 作者黎云尤敏敏林祖德刘景全; 机构上海交通大学电子信息与电气工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第4期66-69,共4页; 文摘针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化锆薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器。通过微加工工艺,将传感器制备与封装相结合,有效简化传统低温温度传感器的制备流程,缩小低温温度传感器尺寸。研制的低温温度传感器尺寸仅为3.2 mm×2.0 mm×0.73 mm,质量低于12 mg。通过颗粒碰撞噪声检测和显微结构观测,盖帽中的凸点结构和金属化空腔可有效提高传感器可靠性。制备得到的低温温度传感器通过低温测试平台进行标定,传感器适用于4.2~300 K之间的温度测量,特别是50 K以下时,传感器具有很高的灵敏度。通过磁场环境测试,表明传感器在磁场中具有很好的稳定性。; 关键词低温温度传感器封装微机电系统(MEMS); Keywords cryogenic temperature sensor packaging micro-electro-mechanical-system(MEMS); 分类号 TN44 [电子电信—微电子学与固体电子学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同温度灵敏度ZrN_(x)O_(y)薄膜温度传感器的磁感应强度及角度依赖性: 4; 作者耿镇姜迪谢连城龚冬良刘辉明缪志聪韩叶茂黄荣进李来风; 机构中国科学院理化技术研究所低温科学与技术全国重点实验室; 出处《低温工程》 2025年第4期15-21,共7页; 基金国家重点研发计划(2023YFF0721202) 低温科学与技术重点实验室自主课题。; 文摘利用综合物性测量系统(PPMS)测试研究了两个不同测温范围和不同温度灵敏度的ZrN_(x)O_(y)薄膜温度传感器在低温强磁场下磁阻随磁感应强度和角度的变化规律。通过等温磁场扫描,发现两温度传感器在不同温度下本征磁阻随磁感应强度的非单调变化和高磁场下的正负磁阻转变行为。在14 T固定磁场下,测试并分析了两种温度传感器电阻在0-360°磁场角度范围内的变化规律。结果显示,其电阻与磁场角度的关系均呈现出独特的“蝴蝶结”状依赖性,且其形状和幅度随温度及传感器类型呈现规律性变化。此外,还进一步分析了磁场引起的温度测量偏差。; 关键词低温温度传感器磁致电阻角度依赖测温偏差; Keywords low-temperature thermometer magnetoresistance angle dependence temperature deviation; 分类号 TB663 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型低温温度传感器的研制	孙凤伟王颖陈鸿彦	《低温工程》 CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	国外低温温度传感器的研制现状	王克军	《低温工程》 CAS CSCD 北大核心	2002	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	原位封装MEMS低温温度传感器	黎云尤敏敏林祖德刘景全	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	不同温度灵敏度ZrN_(x)O_(y)薄膜温度传感器的磁感应强度及角度依赖性	耿镇姜迪谢连城龚冬良刘辉明缪志聪韩叶茂黄荣进李来风	《低温工程》	2025		在线阅读下载PDF 职称材料