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Ar/NH_3混合气体放电等离子体研究进展
被引量：
1
1
作者
李艳琴
张秀玲
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第11期1091-1101,共11页
低气压和大气压下Ar/NH_3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH_3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH_3等离子体研究的未来发展趋势。Ar/NH_3混合气体放电等离子体由...
低气压和大气压下Ar/NH_3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH_3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH_3等离子体研究的未来发展趋势。Ar/NH_3混合气体放电等离子体由于含有NH^+、NH_2^+、NH_3^+、NH_2、NH、N、H等活性离子和激发态中性粒子,使其具有许多独特的性能,在便携式H_2发生器、ε-Fe_3N磁性液体合成、SiN_x薄膜制备、碳纳米管改性、环境保护等方面都有较广泛的应用。
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关键词
低气压等离子体
大
气压
等离子体
AR
NH3
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职称材料
低压高密度等离子体电极性能研究
被引量：
2
2
作者
李道儒
李炳辰
+1 位作者
张生俊
张亚非
《科学技术与工程》
北大核心
2018年第2期1-6,共6页
设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式...
设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度。实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa(0.5 torr)的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×10^(13)cm^(-3)。对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分析,探索得到了一种封闭腔体内获得接近电弧放电高密度等离子体的方法。
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关键词
等离子体
密度
Langmuir双探针
低
气压
封闭式
等离子体
电子发射
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职称材料
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
3
作者
王仲
张贵新
+1 位作者
张庆
贾志东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1544-1548,共5页
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而...
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而且电场沿着两个波导之间的中心轴线波动。当石英管壁厚度和离上下波导的距离分别为5和2mm时,谐振腔内部的平均电场强度达到最大,而且电场强区面积较大。当上述两者分别超过5和2mm时,内部电场的最大值会随着石英管壁厚度和距离逐渐减弱。低气压和大气压空气等离子体在谐振腔内部被激发,其形态比较接近各自的仿真的电场强度分布。
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关键词
石英管
电场强度
平行WR-430波导谐振腔
低
气压
空气微波
等离子体
大
气压
空气微波
等离子体
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职称材料
题名
Ar/NH_3混合气体放电等离子体研究进展
被引量：
1
1
作者
李艳琴
张秀玲
机构
大连大学物理科学与技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第11期1091-1101,共11页
基金
国家自然科学基金项目(11605020
21673026
+1 种基金
21173028)
辽宁省自然科学基金项目(2015020585)
文摘
低气压和大气压下Ar/NH_3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH_3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH_3等离子体研究的未来发展趋势。Ar/NH_3混合气体放电等离子体由于含有NH^+、NH_2^+、NH_3^+、NH_2、NH、N、H等活性离子和激发态中性粒子,使其具有许多独特的性能,在便携式H_2发生器、ε-Fe_3N磁性液体合成、SiN_x薄膜制备、碳纳米管改性、环境保护等方面都有较广泛的应用。
关键词
低气压等离子体
大
气压
等离子体
AR
NH3
Keywords
At low-pressure plasma, Atmosphere-pressure plasma, Ar, NH3
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
O461.21 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
低压高密度等离子体电极性能研究
被引量：
2
2
作者
李道儒
李炳辰
张生俊
张亚非
机构
上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2018年第2期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金(61574091)资助
文摘
设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度。实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa(0.5 torr)的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×10^(13)cm^(-3)。对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分析,探索得到了一种封闭腔体内获得接近电弧放电高密度等离子体的方法。
关键词
等离子体
密度
Langmuir双探针
低
气压
封闭式
等离子体
电子发射
Keywords
plasma density double Langmuir probes low pressure enclosed plasma electron emis-sion
分类号
O461.2 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
3
作者
王仲
张贵新
张庆
贾志东
机构
清华大学电机工程与应用电子技术系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1544-1548,共5页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(50477005)
Basic Research Foundation of Tsinghua University(JCpy2005053)
文摘
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而且电场沿着两个波导之间的中心轴线波动。当石英管壁厚度和离上下波导的距离分别为5和2mm时,谐振腔内部的平均电场强度达到最大,而且电场强区面积较大。当上述两者分别超过5和2mm时,内部电场的最大值会随着石英管壁厚度和距离逐渐减弱。低气压和大气压空气等离子体在谐振腔内部被激发,其形态比较接近各自的仿真的电场强度分布。
关键词
石英管
电场强度
平行WR-430波导谐振腔
低
气压
空气微波
等离子体
大
气压
空气微波
等离子体
Keywords
quartz tube
electric field intensity
parallel WR-430 waveguide resonant cavity
low-pressure air microwave plasma
atmospheric air microwave plasma
分类号
TN126 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ar/NH_3混合气体放电等离子体研究进展
李艳琴
张秀玲
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
低压高密度等离子体电极性能研究
李道儒
李炳辰
张生俊
张亚非
《科学技术与工程》
北大核心
2018
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
王仲
张贵新
张庆
贾志东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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