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氩气辅助激发大气压微波冷等离子体射流的研究
1
作者
胥钧埕
周昱
+2 位作者
赵佩芝
彭玉彬
贺永宁
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期3856-3863,共8页
微波同轴谐振器已被广泛用作大气压等离子体射流的发生装置,其产生的等离子体射流已用于生物医学、材料表面处理等众多领域,大气压条件下微波放电等离子体源的功率阈值是影响其能否广泛应用的关键问题。文中设计的微波等离子体射流源工...
微波同轴谐振器已被广泛用作大气压等离子体射流的发生装置,其产生的等离子体射流已用于生物医学、材料表面处理等众多领域,大气压条件下微波放电等离子体源的功率阈值是影响其能否广泛应用的关键问题。文中设计的微波等离子体射流源工作频率2.6 GHz,回波损耗13.99 dB,工作气体为Ar气,大气压条件下产生紫色的丝状射流,击穿功率41.1 dBm(12.9 W),维持功率仅20 dBm(0.1 W)。结合实验观察和ANSYS Fluent流体力学仿真方法探究了等离子体射流长度与气体体积流量、输入功率的关系,发现层流状态下射流长度随气体体积流量增大而伸长,湍流状态下则反之,但不同气体体积流量下射流长度均随着输入功率单调增大。同时,实验发现关断Ar气后等离子体并未熄灭,而是诱发了同轴尖端附近位置的空气等离子体维持状态。在此基础上提出以Ar气或He气为先导气体,将其电离击穿后辅助激发难电离气体产生冷等离子体射流,在不需要提供高微波功率条件下实现了CO_(2)、N_(2)、O_(2)等冷等离子体射流。
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关键词
微波
同轴谐振器
大
气压
冷
等离子体
射流
氩气
射流长度
等离子体
球
低
击穿功率阈值
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职称材料
开放式微波等离子体源的研究进展
被引量:
9
2
作者
王仲
张贵新
王强
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期793-800,共8页
微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I...
微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I型微波等离子体源的研究开始,逐步通过增加某些辅助设备或改进微波反应腔的尺寸和结构,历经APMPS+JET型、APMPS-II型最终到平行直线矩形波导微波等离子体反应腔,实现了大气压开放式微波等离子体的激发。同时,对各种微波等离子体源的原理和相关特性进行了全面阐述,在此基础上对激发出的空气微波等离子体的形态进行了分析,说明了在一定的微波功率范围内较为稳定均匀的大气压开放式空气微波等离子体的实现是具有可行性的。
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关键词
大
气压
开放式
空气
微波
等离子体
源
APMPS-I型
APMPS+JET型
APMPS-II型
平行直线矩形波导
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职称材料
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
3
作者
王仲
张贵新
+1 位作者
张庆
贾志东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1544-1548,共5页
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而...
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而且电场沿着两个波导之间的中心轴线波动。当石英管壁厚度和离上下波导的距离分别为5和2mm时,谐振腔内部的平均电场强度达到最大,而且电场强区面积较大。当上述两者分别超过5和2mm时,内部电场的最大值会随着石英管壁厚度和距离逐渐减弱。低气压和大气压空气等离子体在谐振腔内部被激发,其形态比较接近各自的仿真的电场强度分布。
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关键词
石英管
电场强度
平行WR-430波导谐振腔
低气压空气微波等离子体
大
气压
空气
微波
等离子体
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职称材料
题名
氩气辅助激发大气压微波冷等离子体射流的研究
1
作者
胥钧埕
周昱
赵佩芝
彭玉彬
贺永宁
机构
西安市微纳电子与系统集成重点实验室(西安交通大学)
西安交通大学人居环境与建筑工程学院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期3856-3863,共8页
文摘
微波同轴谐振器已被广泛用作大气压等离子体射流的发生装置,其产生的等离子体射流已用于生物医学、材料表面处理等众多领域,大气压条件下微波放电等离子体源的功率阈值是影响其能否广泛应用的关键问题。文中设计的微波等离子体射流源工作频率2.6 GHz,回波损耗13.99 dB,工作气体为Ar气,大气压条件下产生紫色的丝状射流,击穿功率41.1 dBm(12.9 W),维持功率仅20 dBm(0.1 W)。结合实验观察和ANSYS Fluent流体力学仿真方法探究了等离子体射流长度与气体体积流量、输入功率的关系,发现层流状态下射流长度随气体体积流量增大而伸长,湍流状态下则反之,但不同气体体积流量下射流长度均随着输入功率单调增大。同时,实验发现关断Ar气后等离子体并未熄灭,而是诱发了同轴尖端附近位置的空气等离子体维持状态。在此基础上提出以Ar气或He气为先导气体,将其电离击穿后辅助激发难电离气体产生冷等离子体射流,在不需要提供高微波功率条件下实现了CO_(2)、N_(2)、O_(2)等冷等离子体射流。
关键词
微波
同轴谐振器
大
气压
冷
等离子体
射流
氩气
射流长度
等离子体
球
低
击穿功率阈值
Keywords
microwave coaxial resonator
atmospheric pressure cold plasma jet
argon
plasma jet length
plasma ball
low breakdown power threshold
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
开放式微波等离子体源的研究进展
被引量:
9
2
作者
王仲
张贵新
王强
机构
清华大学电机工程与应用电子技术系
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期793-800,共8页
基金
国家自然科学基金(50477005)~~
文摘
微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I型微波等离子体源的研究开始,逐步通过增加某些辅助设备或改进微波反应腔的尺寸和结构,历经APMPS+JET型、APMPS-II型最终到平行直线矩形波导微波等离子体反应腔,实现了大气压开放式微波等离子体的激发。同时,对各种微波等离子体源的原理和相关特性进行了全面阐述,在此基础上对激发出的空气微波等离子体的形态进行了分析,说明了在一定的微波功率范围内较为稳定均匀的大气压开放式空气微波等离子体的实现是具有可行性的。
关键词
大
气压
开放式
空气
微波
等离子体
源
APMPS-I型
APMPS+JET型
APMPS-II型
平行直线矩形波导
Keywords
atmosphere pressure
open type
air microwave plasma
APMPS-I type
APMPS+JET type
APMPS-II type
parallel rectilinear rectangle waveguide
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
3
作者
王仲
张贵新
张庆
贾志东
机构
清华大学电机工程与应用电子技术系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1544-1548,共5页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(50477005)
Basic Research Foundation of Tsinghua University(JCpy2005053)
文摘
详细讨论了石英管对平行WR-430波导谐振腔内部电场强度的影响。在没有石英管时,电场强度在每个狭缝附近发生突变,其峰值沿着一个波导逐渐减小,而沿着另外一个波导逐渐增大。存在石英管时,内部电场变弱且沿着石英管内表面无规则振荡,而且电场沿着两个波导之间的中心轴线波动。当石英管壁厚度和离上下波导的距离分别为5和2mm时,谐振腔内部的平均电场强度达到最大,而且电场强区面积较大。当上述两者分别超过5和2mm时,内部电场的最大值会随着石英管壁厚度和距离逐渐减弱。低气压和大气压空气等离子体在谐振腔内部被激发,其形态比较接近各自的仿真的电场强度分布。
关键词
石英管
电场强度
平行WR-430波导谐振腔
低气压空气微波等离子体
大
气压
空气
微波
等离子体
Keywords
quartz tube
electric field intensity
parallel WR-430 waveguide resonant cavity
low-pressure air microwave plasma
atmospheric air microwave plasma
分类号
TN126 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氩气辅助激发大气压微波冷等离子体射流的研究
胥钧埕
周昱
赵佩芝
彭玉彬
贺永宁
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
2
开放式微波等离子体源的研究进展
王仲
张贵新
王强
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
石英管对平行WR-430波导谐振腔电场的影响(英文)
王仲
张贵新
张庆
贾志东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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