低气压下土壤中Pb等离子体光谱特性

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作者 徐送宁 李传祥 +2 位作者 宁日波 李倩 姜冉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期2877-2880,共4页

用Nd∶YAG激光诱导激发土壤等离子体,研究了环境压力(在1.01×10~5与1×10~2 Pa之间)对土壤等离子体辐射特性及元素检出限的影响。结果表明,随着气压的降低,土壤等离子体的谱线强度、信背比先增大后减小,最高均可达常压下的1.69... 用Nd∶YAG激光诱导激发土壤等离子体,研究了环境压力(在1.01×10~5与1×10~2 Pa之间)对土壤等离子体辐射特性及元素检出限的影响。结果表明,随着气压的降低,土壤等离子体的谱线强度、信背比先增大后减小,最高均可达常压下的1.69倍;电子密度同样呈现先增大后减小的趋势,在气压8×10~4 Pa下达到最大值3.56×10^(16)cm^(-3),比常压下高出1.5×10^(15)cm^(-3);在气压8×10~4 Pa下诱导激发等离子体发射光谱与常压下相比有较好的稳定性和较高的精密度。20次重复实验得到土壤等离子体分析线信号强度的相对标准偏差为1.1%,明显低于常压下的3.5%,低气压下稳定性显著提高。应用内标法对自制土壤中Pb元素建立定标曲线,计算得到气压8×10~4 Pa下土壤中Pb元素的检出限为57.27 mg·kg^(-1),较常压下降低了39.23mg·kg^(-1)。表明适当的低压环境可以有效提高LIBS的光谱检测灵敏度,改善元素分析的检出限以及增加光谱定量分析的准确度和精密度。 展开更多

关键词 激光诱导等离子体 低气压 谱线强度 电子密度 检出限

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低气压下工频放电等离子体发展特性研究

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作者 杨亚奇 李卫国 +2 位作者 袁创业 夏喻 陈艳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期281-285,共5页

为研究低气压下棒-板长间隙工频放电等离子体通道发展过程及外部特征,本研究提出利用自行研制的以聚丙烯为主体的低气压放电腔进行工频放电试验,并分析了800 mm棒-板间隙在100 Pa,200 Pa,500 Pa,1 kPa,2 kPa,4 kPa六个气压值下的等离子... 为研究低气压下棒-板长间隙工频放电等离子体通道发展过程及外部特征,本研究提出利用自行研制的以聚丙烯为主体的低气压放电腔进行工频放电试验,并分析了800 mm棒-板间隙在100 Pa,200 Pa,500 Pa,1 kPa,2 kPa,4 kPa六个气压值下的等离子体通道发展过程及其外部特征。研究结果表明:电子自由行程变化对棒-板电极工频放电等离子体通道发展过程及外部特征影响显著。在100 Pa^4 kPa气压范围内随气压升高,击穿前板电极起始等离子体通道占放电间隙比例先升后降,击穿后持续等离子体通道外形变化经历"条纹状-间断状-连续状"三个阶段。研究结果为低气压下等离子体机理研究以及低气压下长间隙工频放电实验提供参考。 展开更多

关键词 低气压 工频放电 等离子体 长间隙 电子自由行程

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低压高密度等离子体电极性能研究 被引量：2

3

作者 李道儒 李炳辰 +1 位作者 张生俊 张亚非 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第2期1-6,共6页

设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式... 设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度。实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa(0.5 torr)的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×10^(13)cm^(-3)。对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分析,探索得到了一种封闭腔体内获得接近电弧放电高密度等离子体的方法。 展开更多

关键词 等离子体密度 Langmuir双探针 低气压封闭式等离子体 电子发射

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氩气辅助激发大气压微波冷等离子体射流的研究

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作者 胥钧埕 周昱 +2 位作者 赵佩芝 彭玉彬 贺永宁 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期3856-3863,共8页

微波同轴谐振器已被广泛用作大气压等离子体射流的发生装置,其产生的等离子体射流已用于生物医学、材料表面处理等众多领域,大气压条件下微波放电等离子体源的功率阈值是影响其能否广泛应用的关键问题。文中设计的微波等离子体射流源工... 微波同轴谐振器已被广泛用作大气压等离子体射流的发生装置,其产生的等离子体射流已用于生物医学、材料表面处理等众多领域,大气压条件下微波放电等离子体源的功率阈值是影响其能否广泛应用的关键问题。文中设计的微波等离子体射流源工作频率2.6 GHz,回波损耗13.99 dB,工作气体为Ar气,大气压条件下产生紫色的丝状射流,击穿功率41.1 dBm(12.9 W),维持功率仅20 dBm(0.1 W)。结合实验观察和ANSYS Fluent流体力学仿真方法探究了等离子体射流长度与气体体积流量、输入功率的关系,发现层流状态下射流长度随气体体积流量增大而伸长,湍流状态下则反之,但不同气体体积流量下射流长度均随着输入功率单调增大。同时,实验发现关断Ar气后等离子体并未熄灭,而是诱发了同轴尖端附近位置的空气等离子体维持状态。在此基础上提出以Ar气或He气为先导气体,将其电离击穿后辅助激发难电离气体产生冷等离子体射流,在不需要提供高微波功率条件下实现了CO_(2)、N_(2)、O_(2)等冷等离子体射流。 展开更多

关键词 微波同轴谐振器 大气压冷等离子体射流 氩气 射流长度 等离子体球 低击穿功率阈值

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激光诱导等离子体光谱技术应用于月球探测的可行性研究 被引量：6

5

作者 亓洪兴 潘明忠 +3 位作者 吕刚 何志平 闫志欣 舒嵘 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期93-96,共4页

阐述了激光诱导等离子体光谱技术的物理机制,分析了气压影响激光诱导等离子体光谱探测的机制和规律,建立了低气压环境下进行激光诱导等离子体光谱探测的试验装置,开展了不同等级低气压环境下的试验研究,通过试验数据具体量化了气压对激... 阐述了激光诱导等离子体光谱技术的物理机制,分析了气压影响激光诱导等离子体光谱探测的机制和规律,建立了低气压环境下进行激光诱导等离子体光谱探测的试验装置,开展了不同等级低气压环境下的试验研究,通过试验数据具体量化了气压对激光诱导等离子体光谱探测的影响,进而论证了激光诱导等离子体光谱技术应用于月球探测的可行性. 展开更多

关键词 月球探测 激光诱导等离子体光谱技术 低气压 雪崩电离 多光子吸收电离

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一种新型等离子体磁控溅射镀膜电源设计 被引量：2

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作者 李波 赵娟 +9 位作者 李洪涛 叶超 谭巍巍 黄斌 鲁向阳 黄宇鹏 张信 欧阳艳晶 康传会 齐卓筠 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期119-123,共5页

磁控溅射镀膜电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌靶和锡靶溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0～800V可调、脉冲宽度5～200μs可调、频率0～60Hz可调、在脉冲电流最大幅值约150A的磁控溅射镀膜电源,分别给出了该电源... 磁控溅射镀膜电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌靶和锡靶溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0～800V可调、脉冲宽度5～200μs可调、频率0～60Hz可调、在脉冲电流最大幅值约150A的磁控溅射镀膜电源,分别给出了该电源在铌靶负载和锡靶负载下的实验结果。设计上采用高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路方法,解决了高功率磁控溅射在重复频率工作下有时不能成功溅射粒子、电离时刻不一致、溅射起弧打火靶面中毒、溅射效率低等问题,降低了磁控溅射装置内气体的工作气压,实现低气压溅射镀膜,提高了靶材的溅射效率,减小薄膜表面粗糙度。通过大量实验论证,该电源达到了理想的溅射效果,满足了指标要求。 展开更多

关键词 高压预电离 双极性脉冲 低气压溅射 等离子体

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克服大气环境干扰的激光诱导等离子体光谱技术研究 被引量：3

7

作者 吕刚 亓洪兴 +3 位作者 潘明忠 何志平 闫志欣 舒嵘 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期354-357,共4页

介绍了激光诱导等离子体光谱技术的工作原理,通过阐述激光诱导等离子体光谱产生的物理机制解释了大气分子干扰固态样本测量结果的原因,建立了既能够提供低气压工作环境又方便实用的激光诱导等离子体光谱探测装置,开展了低气压环境下的... 介绍了激光诱导等离子体光谱技术的工作原理,通过阐述激光诱导等离子体光谱产生的物理机制解释了大气分子干扰固态样本测量结果的原因,建立了既能够提供低气压工作环境又方便实用的激光诱导等离子体光谱探测装置,开展了低气压环境下的试验研究,证明了大气分子元素干扰固态样本测量结果的客观存在,同时证明了低气压环境能够有效避免或者缓解大气分子干扰问题的可行性。 展开更多

关键词 激光诱导等离子体光谱技术 大气分子干扰 低气压 雪崩电离 多光子吸收电离

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100Pa下800mm棒-板间隙放电等离子体外部特征研究 被引量：3

8

作者 杨亚奇 李卫国 +2 位作者 袁创业 夏喻 陈艳 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期414-417,共4页

为研究低气压下长间隙放电等离子体通道外部特征,利用试验平台对100 Pa下800 mm棒-板间隙交、直流放电进行观测,并对放电通道发展过程及其外部特征进行研究。研究结果表明:50 Hz交流和正极性直流电压下等离子体通道发展过程及通道外形... 为研究低气压下长间隙放电等离子体通道外部特征,利用试验平台对100 Pa下800 mm棒-板间隙交、直流放电进行观测,并对放电通道发展过程及其外部特征进行研究。研究结果表明:50 Hz交流和正极性直流电压下等离子体通道发展过程及通道外形差异显著,交流电压下等离子体通道自棒、板电极双向发展并双向消散,击穿后通道呈纺锤形且存在明暗条纹;正极性直流电压下等离子体通道自棒电极向板电极单向发展并向棒电极单向消散,击穿后通道呈亮度均匀的圆柱形。研究结果为低气压下长间隙放电特性研究提供参考。 展开更多

关键词 低气压 等离子体 交流电压 直流电压

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残余气体对等离子体制备聚合膜的影响 被引量：2

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作者 陈猛 杨津基 韩旻 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第2期130-133,共4页

以苯乙烯蒸气作为聚合反应单体，在射频低气压等离子体中形成聚合物薄膜，研究了残留于等离子体反应室中的空气杂质对等离子体聚合过程及薄膜结构的影响，并讨论了消除这种影响的可能途径。

关键词 低气压 等离子体 残余气体 聚合膜结构 薄膜

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Ar/NH_3混合气体放电等离子体研究进展 被引量：1

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作者 李艳琴 张秀玲 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第11期1091-1101,共11页

低气压和大气压下Ar/NH_3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH_3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH_3等离子体研究的未来发展趋势。Ar/NH_3混合气体放电等离子体由... 低气压和大气压下Ar/NH_3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH_3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH_3等离子体研究的未来发展趋势。Ar/NH_3混合气体放电等离子体由于含有NH^+、NH_2^+、NH_3^+、NH_2、NH、N、H等活性离子和激发态中性粒子,使其具有许多独特的性能,在便携式H_2发生器、ε-Fe_3N磁性液体合成、SiN_x薄膜制备、碳纳米管改性、环境保护等方面都有较广泛的应用。 展开更多

关键词 低气压等离子体 大气压等离子体 AR NH3

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4kPa下长间隙工频放电等离子体发展机理研究

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作者 杨亚奇 李卫国 +2 位作者 夏喻 袁创业 陈艳 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第3期223-226,共4页

为研究低气压下长空气间隙工频放电等离子体发展机理,利用低气压放电试验平台对4 k Pa下600 mm棒-板间隙进行了放电试验研究,得到该条件下等离子体发展特征并对其机理进行分析。研究结果表明:4 k Pa下棒电极下行等离子体发展的同时板电... 为研究低气压下长空气间隙工频放电等离子体发展机理,利用低气压放电试验平台对4 k Pa下600 mm棒-板间隙进行了放电试验研究,得到该条件下等离子体发展特征并对其机理进行分析。研究结果表明:4 k Pa下棒电极下行等离子体发展的同时板电极出现电晕亮斑,板电极上行等离子体通道对周围放电的抑制作用较弱可同时发展多条等离子体通道,且等离子体通道自棒电极发展的速度较板电极大;间隙击穿后等离子体通道出现"飘弧"现象且在发展路径上具有选择性。研究结果为低气压下工频放电特性研究提供试验参考。 展开更多

关键词 低气压 工频放电 等离子体 长间隙

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等离子体加工过程中尘埃微粒行为的研究 被引量：3

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作者 顾琅 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 1997年第1期56-69,共14页

在等离子体加工过程中产生的尘埃微粒是影响半导体集成电路生产质量的关键问题，近年来吸引了不少科学家的注意力．尘埃等离子体已成为等离子体物理中一个重要的前沿分支．本文综述低气压等离子体加工过程中关于尘埃微粒的形成及生长过... 在等离子体加工过程中产生的尘埃微粒是影响半导体集成电路生产质量的关键问题，近年来吸引了不少科学家的注意力．尘埃等离子体已成为等离子体物理中一个重要的前沿分支．本文综述低气压等离子体加工过程中关于尘埃微粒的形成及生长过程、带电机制、作用力、输运特性及尘埃等离子体的强耦合性质等方面的研究进展，并介绍其主要测量手段。 展开更多

关键词 等离子体加工 尘埃微粒 低气压 集成电路

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低气压He/N_2混合气体的辉光放电数值模拟 被引量：4

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作者 邹晓兵 杨新婷 +3 位作者 付洋洋 罗海云 杨硕 王新新 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3741-3746,共6页

针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气... 针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响。研究结果表明:随着杂质含量的升高,由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程降低了击穿电压,因此气隙维持电压降低,回路电流升高。并且由于彭宁电离为放电提供了较多电子,导致电子数密度升高、电场强度降低、电子温度降低。 展开更多

关键词 低气压氦气辉光放电 低温等离子体 彭宁电离 氮气杂质 辉光放电清洗

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棒尖端外形对低气压下棒-板短间隙放电特性影响研究 被引量：7

14

作者 杨亚奇 李卫国 +1 位作者 夏喻 袁创业 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期194-200,共7页

为研究棒尖端外形对低气压下棒-板短间隙放电特性的影响,利用低气压放电试验平台针对锥尖头、球头、平头三种棒电极在2~20 kPa气压范围内200~400 mm短间隙进行工频放电试验研究,并对棒尖端外形对击穿电压、电晕和等离子体通道外形的影... 为研究棒尖端外形对低气压下棒-板短间隙放电特性的影响,利用低气压放电试验平台针对锥尖头、球头、平头三种棒电极在2~20 kPa气压范围内200~400 mm短间隙进行工频放电试验研究,并对棒尖端外形对击穿电压、电晕和等离子体通道外形的影响进行分析。研究结果表明:棒尖端外形对低气压下棒-板短间隙放电特性影响显著。在2~20 kPa气压范围内随气压升高,相同间隙距离不同棒尖端下的击穿电压幅值差逐渐增大;锥尖头和平头棒尖端电晕层存在电离集中点;球头和平头棒相对锥尖头棒-板间隙等离子体通道而言较粗且偏移角较大,等离子体通道末端与板电极存在较多接触点并呈现"多分支"状。研究成果对低气压下放电试验电极布置具有参考意义。 展开更多

关键词 棒-板间隙低气压 短间隙 等离子体通道

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大气压氩气条件低载气流量DBD放电特性 被引量：7

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作者 刘仕维 姜楠 +3 位作者 王世强 郭亚逢 李杰 吴彦 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1988-1995,共8页

为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电（DBD）的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影... 为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电（DBD）的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影响。实验结果表明：提高外加电压幅值和频率可以显著增强放电功率。提高电压幅值会产生更多的高能电子,提高放电频率可以改变高能电子的分布,使得高能量电子数密度升高,低能量电子数密度下降。气隙间距的减小可以明显提高放电均匀性。载气流量增大时,放电强度下降,但放电均匀性会得到提高。 展开更多

关键词 介质阻挡放电 等离子体 放电特性 大气压氩气 气体放电 低载气流量

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低气压下激光诱导击穿有机爆炸物的光谱特性 被引量：1

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作者 付林 李业秋 +4 位作者 甄佳 程德华 李倩 岱钦 乌日娜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第8期231-236,共6页

在恐怖袭击中,爆炸袭击为最常见的恐怖袭击方式,爆恐袭击已经严重威胁公众的日常生活,因此对爆炸物的检测越来越受到关注。通过激光诱导击穿光谱技术在空气和低气压条件下分别对RDX和TNT两种有机爆炸物进行检测,检测到原子谱线和分子谱... 在恐怖袭击中,爆炸袭击为最常见的恐怖袭击方式,爆恐袭击已经严重威胁公众的日常生活,因此对爆炸物的检测越来越受到关注。通过激光诱导击穿光谱技术在空气和低气压条件下分别对RDX和TNT两种有机爆炸物进行检测,检测到原子谱线和分子谱线两种特征谱线,发现CN(421.3 nm)和C_(2)(516.2 nm)是有机爆炸物最有研究价值的两条谱线。研究结果表明:谱线强度与样品分子式比以及分子结构有关,分子谱线比原子谱线更具有研究价值。与空气条件相比,低气压环境下RDX的相对标准偏差由5.1%降低到1.8%,TNT的相对标准偏差由15.7%降低到2.7%,低压环境可以有效提高LIBS检测有机物光谱的分析精密度,增加光谱分析准确性,为LIBS对有机爆炸物的检测和分析精密度提高提供了帮助。 展开更多

关键词 激光诱导击穿等离子体 低气压 有机爆炸物 分析精密度

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低气压下80ns长脉宽激光诱导击穿铜合金光谱特性研究 被引量：1

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作者 袁备 宁日波 +2 位作者 李倩 韩艳丽 徐送宁 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期2891-2895,共5页

激光诱导击穿光谱(LIBS)因具有实时快速、多元素分析、样品损伤性小等优势,已成为检测未知物质元素组分以及相应元素含量的重要手段。近期的一些研究表明,百纳秒级别激光脉冲由于在确保有效击穿阈值的条件下延长了激光与样品作用时间,... 激光诱导击穿光谱(LIBS)因具有实时快速、多元素分析、样品损伤性小等优势,已成为检测未知物质元素组分以及相应元素含量的重要手段。近期的一些研究表明,百纳秒级别激光脉冲由于在确保有效击穿阈值的条件下延长了激光与样品作用时间,使得其LIBS光谱质量相对于传统10 ns级激光脉冲得到了提高;适度降低环境气压(至10^4 Pa量级), LIBS光谱强度和信背比均得到明显提高。为探究低气压对长脉宽(百纳秒级)激光诱导铜合金等离子体光谱特性的影响,采用自主研发80 ns脉宽Nd∶YAG激光器(波长1 064 nm,单脉冲能量20~200 mJ)作为激发光源,样品为BYG19431的锡青铜(基体元素Cu质量百分数为92.9%,低含量元素Fe质量百分数为0.007 8%),通过样品气氛控制系统改变环境气压,分别研究了低环境压力(1.01×10^5, 9.6×10^4, 9.2×10^4, 8.8×10^4和8.4×10^4 Pa)下铜合金基体元素Cu与低含量元素Fe光谱特性。实验中,激光脉冲重复频率为1 Hz,每次打击均为新鲜表面(通过真空腔内的可控旋转平台更换样品位置),每个能量和气压下分别选取5个脉冲能量较稳定的光谱,取平均值作为当前实验条件的最终实验结果,激光脉冲能量的实时监测由透反比1∶1分束镜及能量计完成。研究发现,基体元素谱线(CuⅠ324.75 nm),常压下低能量(20 mJ, 40 mJ)时均存在较严重的自吸收现象。在60 mJ时,虽自吸收效应得到改善,但谱线背景强度升高,且激光对样品的损伤加大。为在低光谱背景,微样品损伤的条件下实现光谱质量的进一步提升,实验激光能量为20 mJ。结果表明,随着环境气压降低,基体元素Cu自吸收程度大幅度降低,样品中低含量Fe元素谱线信背比增加,等离子温度升高,谱线展宽变窄。气压为8.4×10^4 Pa时,与常压相比基体元素铜(CuⅠ324.75 nm)与微量元素铁(FeⅠ330.82 nm)谱线信背比分别增强5.31和2.43倍;等离子体温度提升了21.6%;FeⅠ330.82 nm谱线展宽由0.29 nm降到0.21 nm,在一定程度提高了LIBS元素谱线的分辨率。 展开更多

关键词 80ns长脉宽 低气压 自吸收 信背比 等离子体温度

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航天器微波部件微放电诱导低气压来源分析 被引量：1

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作者 陈泽煜 王瑞 崔万照 《中国空间科学技术》 CSCD 北大核心 2023年第4期35-42,共8页

航天器微波部件低气压放电效应是威胁航天器电子设备安全运行的一种特殊效应,而部件材料表面吸附气体脱附后为低气压放电提供了必要的条件。首先对比了微放电与低气压放电的区别,阐述了低气压放电破坏效应的产生根源。通过理论分析与计... 航天器微波部件低气压放电效应是威胁航天器电子设备安全运行的一种特殊效应,而部件材料表面吸附气体脱附后为低气压放电提供了必要的条件。首先对比了微放电与低气压放电的区别,阐述了低气压放电破坏效应的产生根源。通过理论分析与计算,对比了热效应和电子轰击效应对不同键能吸附气体的脱附效率。结果发现,热致脱附主要造成低键能物理吸附气体的解吸附,电子轰击效应可造成高键能的化学吸附气体的解吸附。阐明了由二次电子倍增引起的电子诱导解吸附过程是星载微波部件内低气压环境的主要形成原因。最后讨论了通过部件材料表面处理及提高二次电子倍增阈值的低气压放电效应抑制方法。 展开更多

关键词 低气压放电 吸附气体 热脱附 电子诱导脱附 等离子体 微放电

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低功率射频推力器启动特性研究及优化设计

19

作者 吴延龙 艾亮 +3 位作者 一鸣 常悦 张越 孙斌 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2023年第2期116-122,共7页

针对微型射频离子推力器研制过程中击穿困难的问题,开展了低气压细管感应耦合等离子源(ICPs)的击穿特性实验研究.通过对放电腔室内等离子体击穿区域的研究,发现低气压细管ICPs击穿位置不在电场最强的天线区域,即天线的击穿区域与射频离... 针对微型射频离子推力器研制过程中击穿困难的问题,开展了低气压细管感应耦合等离子源(ICPs)的击穿特性实验研究.通过对放电腔室内等离子体击穿区域的研究,发现低气压细管ICPs击穿位置不在电场最强的天线区域,即天线的击穿区域与射频离子推力器稳定工作的等离子体维持区域不在同一区域,这造成了传统射频离子推力器结构下击穿点火的困难.通过改变放电腔室结构与天线位置研究击穿工况变化规律,发现延长放电腔室长度,适当增加天线匝数,调整天线与放电腔室相对位置都可以改善上述现象. 展开更多

关键词 电感耦合等离子体源(ICP) 低气压细管 击穿区域

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常压辉光放电及其在薄膜表面处理中的应用 被引量：6

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作者 林福昌 何磊 +1 位作者 戴玲 李劲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第B12期44-46,共3页

常压辉光放电 (APGD)是具有较高电子能量的非平衡等离子体 ,比低压辉光放电更易于实现工业化应用。比较了几种获得常压辉光放电的实验方案 ,基于对常压辉光放电等离子体基本物化特性的深入了解 ,探讨了各种等离子体气氛对于绝缘介质薄... 常压辉光放电 (APGD)是具有较高电子能量的非平衡等离子体 ,比低压辉光放电更易于实现工业化应用。比较了几种获得常压辉光放电的实验方案 ,基于对常压辉光放电等离子体基本物化特性的深入了解 ,探讨了各种等离子体气氛对于绝缘介质薄膜电气及化学特性的作用 (比如憎水性、表面位能等 ) ,并将之用于绝缘介质薄膜的表面处理中 ,对于薄膜性质的改善起到了较好的作用 。 展开更多

关键词 常压辉光放电 薄膜 表面处理 等离子体 低气压 大气压 介质阻档放电

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