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基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究
1
作者
白贵文
雷程
+2 位作者
梁庭
王丙寅
赵艳栋
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第8期1-5,共5页
文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论...
文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于已有的双端四梁结构X轴方向的横向灵敏度由3.3%降至2.6%,Y轴方向横向灵敏度由29.9%降至1.5%,传感器芯片在600℃高温环境下输入载荷与输出电压呈线性关系,100 g载荷下的理论输出电压为3.65 mV。
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关键词
4H-SIC
低横向灵敏度
压阻式加速度计
有限元方法
热-力耦合仿真
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职称材料
题名
基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究
1
作者
白贵文
雷程
梁庭
王丙寅
赵艳栋
机构
中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
内蒙古动力机械研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第8期1-5,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFB3208500)。
文摘
文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于已有的双端四梁结构X轴方向的横向灵敏度由3.3%降至2.6%,Y轴方向横向灵敏度由29.9%降至1.5%,传感器芯片在600℃高温环境下输入载荷与输出电压呈线性关系,100 g载荷下的理论输出电压为3.65 mV。
关键词
4H-SIC
低横向灵敏度
压阻式加速度计
有限元方法
热-力耦合仿真
Keywords
4H-SiC
low lateral sensitivity
piezoresistive accelerometer
finite element method
thermal mechanical coupling simulation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
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1
基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究
白贵文
雷程
梁庭
王丙寅
赵艳栋
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024
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