期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制
被引量：
3
1
作者
陈永平
刘强
+2 位作者
施永明
唐成伟
梁平治
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期336-339,348,共5页
采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面的信号读出采用了CTIA积分方式.应用一种双频PECVD技术制备了低应力氮化硅薄膜,有效改善了微桥的平整...
采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面的信号读出采用了CTIA积分方式.应用一种双频PECVD技术制备了低应力氮化硅薄膜,有效改善了微桥的平整度.通过氮化硅和氧化钒薄膜自身的红外吸收,焦平面在8～14μm波段的平均响应率达到8.2×104V/W,平均D*达到2.3×108cmHz1/2/w.焦平面的均匀性需要进一步改善.
展开更多
关键词
非致冷焦平面
氧化钒
低应力氮化硅
微桥
在线阅读
下载PDF
职称材料
一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
被引量：
1
2
作者
郭然
陈德勇
王军波
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期1-3,9,共4页
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅Si...
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
展开更多
关键词
谐振式
微流量传感器
电磁激励
低
应力
富硅
氮化硅
SiN
有限元耦合场仿真
微机电系统
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制
被引量：
3
1
作者
陈永平
刘强
施永明
唐成伟
梁平治
机构
中国科学院上海技术物理研究所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期336-339,348,共5页
基金
中科院预研项目(42201030104)
文摘
采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面的信号读出采用了CTIA积分方式.应用一种双频PECVD技术制备了低应力氮化硅薄膜,有效改善了微桥的平整度.通过氮化硅和氧化钒薄膜自身的红外吸收,焦平面在8～14μm波段的平均响应率达到8.2×104V/W,平均D*达到2.3×108cmHz1/2/w.焦平面的均匀性需要进一步改善.
关键词
非致冷焦平面
氧化钒
低应力氮化硅
微桥
Keywords
un,cooled FPA
vanadium oxide
low stress SiNx
miero-bridges
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
O484 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
被引量：
1
2
作者
郭然
陈德勇
王军波
机构
传感器国家重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期1-3,9,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60674112)
文摘
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
关键词
谐振式
微流量传感器
电磁激励
低
应力
富硅
氮化硅
SiN
有限元耦合场仿真
微机电系统
Keywords
resonant
micro flow sensor
electromagnetic excitation
fluid-structure couple-field FEA
MEMS
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制
陈永平
刘强
施永明
唐成伟
梁平治
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
郭然
陈德勇
王军波
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
