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一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
被引量：
1
1
作者
郭然
陈德勇
王军波
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期1-3,9,共4页
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅Si...
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
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关键词
谐振式
微流量传感器
电磁激励
低应力富硅氮化硅sin
有限元耦合场仿真
微机电系统
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职称材料
题名
一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
被引量：
1
1
作者
郭然
陈德勇
王军波
机构
传感器国家重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期1-3,9,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60674112)
文摘
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
关键词
谐振式
微流量传感器
电磁激励
低应力富硅氮化硅sin
有限元耦合场仿真
微机电系统
Keywords
resonant
micro flow sensor
electromagnetic excitation
fluid-structure couple-field FEA
MEMS
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器
郭然
陈德勇
王军波
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
1
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