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题名低压水射流辅助激光刻蚀加工多晶硅工艺参数的优化
被引量：1
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作者
陈雪辉
张相炎
张崇天
袁根福
张程
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机构
南京理工大学机械工程学院
安徽建筑大学机电工程学院
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期30-33,69,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51175229)
安徽省高等学校自然科学研究重点项目(KJ2015A013、KJ2015A050)
安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2016153)
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文摘
利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光脉宽1.1ms、频率40Hz、电流180A,此时槽体截面锥度、表面粗糙度、截面深度分别为1.2°,2.63μm,1.88mm,槽体表面质量较好,边缘无开裂、无熔渣、无重铸层等缺陷。
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关键词
低压水射流辅助激光加工
刻蚀加工
多晶硅
工艺参数优化
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Keywords
low-pressure water-jet assisted laser processing
etching processing
crystalline silicon
optimization of process parameter
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名低压水射流辅助PDC刀具切削花岗岩
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作者
谭哲丽
王成勇
魏昕
谢影明
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机构
广东工业大学机械系
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出处
《中国安全科学学报》
CAS
CSCD
1995年第S1期72-76,共5页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
采用低压水射流辅助聚晶金刚石刀具车削花岗岩，采集不同切削条件下切削力的数据，分析了在水射流辅助下刀具进给量、切削深度、切削速度、水射流压力、喷射距离对切削力的影响。结果表明，在实验压力范围内，切削过程中，水射流使岩石受到冲蚀，并使微裂纹扩展，有利于岩石的切削。切削力随着水射流压力的增大而减少。
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关键词
低压水射流
辅助切削
花岗岩
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Keywords
Low-pressure water jet Assistant cut Granite
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分类号
P588.121
[天文地球—岩石学]
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题名低压水射流激光复合切割Al_2O_3陶瓷的研究
被引量：11
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作者
陈春映
袁根福
王金华
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机构
江南大学机械工程学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第7期2097-2102,共6页
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基金
国家自然科学基金(51175229)
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文摘
针对激光切割Al2O3陶瓷存在热裂纹、大量熔渣等问题,提出了低压水射流激光复合切割陶瓷技术,并将这种工艺与普通激光切割进行了对比,结果表明低压水射流激光复合切割陶瓷可以大大减少陶瓷切缝的熔渣、避免热裂纹。主要研究了辅助气体压力、激光脉冲能量和激光重复频率对水射流激光复合切割Al2O3陶瓷质量的影响规律,发现水射流存在时,辅助气体压力主要起到吹除切割头处水珠的作用,激光脉冲能量或激光重复频率增大、烧蚀材料增多,当烧蚀材料不能及时被射流冲除就形成了熔渣的累积,影响陶瓷切割质量。
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关键词
低压水射流
激光复合切割
陶瓷切割
熔渣
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Keywords
low-pressure water jet
laser composite cutting
ceramic cutting
slag
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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