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ZnO系低压压敏薄膜的喷雾热分解法制备及膜厚对其压敏特性影响的研究 被引量:15
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作者 贾锐 曲风钦 +2 位作者 武光明 宋世庚 陶明德 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期636-638,共3页
本研究首次报导了利用喷雾热分解法成功地制备出ZnO 低压压敏薄膜。沉积温度350 ℃,沉积时间2h ,退火温度650 ℃,XRD 谱表明薄膜已良好晶化且薄膜的生长具有取向性。所制备的薄膜的非线性系数 α可在7 .99 ~22... 本研究首次报导了利用喷雾热分解法成功地制备出ZnO 低压压敏薄膜。沉积温度350 ℃,沉积时间2h ,退火温度650 ℃,XRD 谱表明薄膜已良好晶化且薄膜的生长具有取向性。所制备的薄膜的非线性系数 α可在7 .99 ~22 .38 之间变化。压敏电压V1mA可在13 .58 ~25 .31 之间任意变化;实验证明薄膜的厚度是决定压敏电压和非线性系数大小的重要因素之一。 展开更多
关键词 氧化锌 低压压敏薄膜 喷雾热分解 压敏电压
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低压ZnO压敏薄膜制备与研究
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作者 陆慧 滕月莉 +2 位作者 殷海波 陆元成 潘孝仁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期68-70,共3页
以GDARE法沉积的低压ZnO压敏薄膜为多孔性超微粒结构,沿c轴高度取向.经一定温度热处理后,薄膜具有较好的非线性V-I特性,漏电流小,压敏电压低.温度对薄膜的V-I特性影响较大.文章讨论了ZnO低压压敏薄膜的导电机理.
关键词 ZnO低压压敏薄膜 结构 非线性系数 压敏电压
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