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使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的软X射线-极紫外光子计数成像探测器研究
被引量：
7
1
作者
尼启良
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015年第5期847-872,共26页
本项目对我国空间探测的极紫外(EUV)波段大视场相机所需求的球面光子计数成像探测器的关键技术进行了研究。首先,建立了光阴极材料次级电子产出模型,利用该模型计算了软X射线-EUV波段常用的光电阴极材料—碱卤化物的次级电子产出,分析...
本项目对我国空间探测的极紫外(EUV)波段大视场相机所需求的球面光子计数成像探测器的关键技术进行了研究。首先,建立了光阴极材料次级电子产出模型,利用该模型计算了软X射线-EUV波段常用的光电阴极材料—碱卤化物的次级电子产出,分析了微通道板(MCP)的次级电子产出。建立了测量MCP量子探测效率的装置,并推导出MCP量子探测效率的计算公式,测量了MCP在软X射线-EUV波段的量子效率以及MCP量子效率随掠入射角的变化。其次,建立了球面实芯微通道板的制备装置,利用高温热成型方法制备出曲率半径为150 mm球面MCP,利用光刻技术制备出有效直径为48 mm的楔条形感应电荷位置灵敏阳极,在此基础上集成了一套使用球面MCP和感应电荷位置灵敏阳极的两维光子计数成像探测器。再次,研制出包括快速前端模拟电路与后续数字电路的成像读出电路,编制了能矫正图像畸变的图像实时采集和处理软件。最后,建立了MCP探测器空间分辨率、图像线性的检测装置,对研制出的探测器性能进行了检测,检测结果表明:探测器的各项技术指标完全满足要求。
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关键词
软X射线极紫外
曲面微通道板
位置灵敏阳极
感应电荷
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职称材料
极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器研究
被引量：
11
2
作者
尼启良
刘世界
陈波
《中国光学与应用光学》
2009年第1期36-40,共5页
研制出了应用于月基极紫外成像仪的二维极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器原形样机,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形位置灵敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1mm,直径为30mm的三...
研制出了应用于月基极紫外成像仪的二维极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器原形样机,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形位置灵敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1mm,直径为30mm的三电极楔条形位置灵敏阳极,研制了最高计数率为200kHz的前端模拟和数字电路。测量了探测器的暗计数率、脉冲高度分布及空间分辨率等工作特性。测量结果表明,该探测器的空间分辨率为0.28mm,满足月基极紫外成像仪对空间分辨率的要求。
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关键词
极紫外探测器
光子计数成像探测器
微通道板
位置灵敏阳极
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职称材料
题名
使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的软X射线-极紫外光子计数成像探测器研究
被引量：
7
1
作者
尼启良
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015年第5期847-872,共26页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60677043)
文摘
本项目对我国空间探测的极紫外(EUV)波段大视场相机所需求的球面光子计数成像探测器的关键技术进行了研究。首先,建立了光阴极材料次级电子产出模型,利用该模型计算了软X射线-EUV波段常用的光电阴极材料—碱卤化物的次级电子产出,分析了微通道板(MCP)的次级电子产出。建立了测量MCP量子探测效率的装置,并推导出MCP量子探测效率的计算公式,测量了MCP在软X射线-EUV波段的量子效率以及MCP量子效率随掠入射角的变化。其次,建立了球面实芯微通道板的制备装置,利用高温热成型方法制备出曲率半径为150 mm球面MCP,利用光刻技术制备出有效直径为48 mm的楔条形感应电荷位置灵敏阳极,在此基础上集成了一套使用球面MCP和感应电荷位置灵敏阳极的两维光子计数成像探测器。再次,研制出包括快速前端模拟电路与后续数字电路的成像读出电路,编制了能矫正图像畸变的图像实时采集和处理软件。最后,建立了MCP探测器空间分辨率、图像线性的检测装置,对研制出的探测器性能进行了检测,检测结果表明:探测器的各项技术指标完全满足要求。
关键词
软X射线极紫外
曲面微通道板
位置灵敏阳极
感应电荷
Keywords
soft X-ray and EUV
curved surface microchannel plate（MCP）
position-sensitive anode
induced charge
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器研究
被引量：
11
2
作者
尼启良
刘世界
陈波
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《中国光学与应用光学》
2009年第1期36-40,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60677043)
文摘
研制出了应用于月基极紫外成像仪的二维极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器原形样机,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形位置灵敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1mm,直径为30mm的三电极楔条形位置灵敏阳极,研制了最高计数率为200kHz的前端模拟和数字电路。测量了探测器的暗计数率、脉冲高度分布及空间分辨率等工作特性。测量结果表明,该探测器的空间分辨率为0.28mm,满足月基极紫外成像仪对空间分辨率的要求。
关键词
极紫外探测器
光子计数成像探测器
微通道板
位置灵敏阳极
Keywords
Extreme Ultraviolet （EUV） detector
photon-counting imaging detector
Microchannel Plate （MCP）
position-sensitive anode
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
TN366 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的软X射线-极紫外光子计数成像探测器研究
尼启良
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015
7
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职称材料
2
极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器研究
尼启良
刘世界
陈波
《中国光学与应用光学》
2009
11
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职称材料
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参考文献
引证文献
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