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位置敏感检测器PSD及其应用研究
被引量：
18
1
作者
朱尚明
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第2期39-40,共2页
本文介绍了一种基于横向光电效应的新型位置敏感检测器PSD,详细地分析了它的应用特点、结构和检测原理,最后还给出了它在光学三角法测距中的应用实例.
关键词
位置敏感检测器
应用
检测器
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职称材料
一种基于光点位置敏感器件的风速风向测试系统设计
被引量：
3
2
作者
孙萍
秦明
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1222-1225,共4页
以二维位置敏感检测器(PSD)为核心器件设计了二维风速风向测试系统,系统采用激光作为光源,光源射在PSD上的位置反映了环境风速和风向的大小.简要介绍了PSD的原理和特点,分析了测试系统的工作原理,利用矢量计算给出了风速和风向的计算方...
以二维位置敏感检测器(PSD)为核心器件设计了二维风速风向测试系统,系统采用激光作为光源,光源射在PSD上的位置反映了环境风速和风向的大小.简要介绍了PSD的原理和特点,分析了测试系统的工作原理,利用矢量计算给出了风速和风向的计算方法.制作了测试系统,并对PSD位置定位和风速风向的关系进行了测试.该系统的风速测量范围在0～30m/s,未经放大处理时,分辨率可达0.15mV/(m.s-1),风向测试的平均误差小于7.°该传感系统结构简单,测试方便,受环境温度影响小.选择合适的风敏竿,可以进一步增加测试灵敏度和拓宽测量量程.
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关键词
位置敏感检测器
横向光电效应
风速
风向
位置
定位
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职称材料
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
被引量：
6
3
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期217-219,224,共4页
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步...
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步距达到 1纳米的条件下 ,测量物件的尺寸范围可以扩大为 2 0 mm× 2 0 m m,不仅适合微小构件的精密测量 ,而且适合较大器件的精密测量 ,且 X— Y方向的位移测量精度最小可达 1纳米。Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器 PSD,Z轴方向的位移测量精度达 10纳米。对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计 。
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关键词
微轮廓测量仪
位置敏感检测器
激光单点阵扫描
控制系统
精密测量
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职称材料
题名
位置敏感检测器PSD及其应用研究
被引量：
18
1
作者
朱尚明
机构
合肥经济技术学院机电系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第2期39-40,共2页
文摘
本文介绍了一种基于横向光电效应的新型位置敏感检测器PSD,详细地分析了它的应用特点、结构和检测原理,最后还给出了它在光学三角法测距中的应用实例.
关键词
位置敏感检测器
应用
检测器
Keywords
PSD, Lateral Photo-Electronic Effect, Light Triangulation Dis-tance Measurement.
分类号
TN379 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种基于光点位置敏感器件的风速风向测试系统设计
被引量：
3
2
作者
孙萍
秦明
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
江苏信息职业技术学院电子信息工程系
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1222-1225,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(61076071)
江苏省高校"青蓝工程"资助项目
文摘
以二维位置敏感检测器(PSD)为核心器件设计了二维风速风向测试系统,系统采用激光作为光源,光源射在PSD上的位置反映了环境风速和风向的大小.简要介绍了PSD的原理和特点,分析了测试系统的工作原理,利用矢量计算给出了风速和风向的计算方法.制作了测试系统,并对PSD位置定位和风速风向的关系进行了测试.该系统的风速测量范围在0～30m/s,未经放大处理时,分辨率可达0.15mV/(m.s-1),风向测试的平均误差小于7.°该传感系统结构简单,测试方便,受环境温度影响小.选择合适的风敏竿,可以进一步增加测试灵敏度和拓宽测量量程.
关键词
位置敏感检测器
横向光电效应
风速
风向
位置
定位
Keywords
position sensitive device（PSD）
lateral photoelectric effect
wind speed
wind direction
position measurement
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
被引量：
6
3
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
机构
西安交通大学精密工程研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期217-219,224,共4页
文摘
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步距达到 1纳米的条件下 ,测量物件的尺寸范围可以扩大为 2 0 mm× 2 0 m m,不仅适合微小构件的精密测量 ,而且适合较大器件的精密测量 ,且 X— Y方向的位移测量精度最小可达 1纳米。Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器 PSD,Z轴方向的位移测量精度达 10纳米。对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计 。
关键词
微轮廓测量仪
位置敏感检测器
激光单点阵扫描
控制系统
精密测量
Keywords
Microprofilometer PSD Single laser lattice scan Control system Precision measurement
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
位置敏感检测器PSD及其应用研究
朱尚明
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996
18
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种基于光点位置敏感器件的风速风向测试系统设计
孙萍
秦明
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
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职称材料
已选择
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参考文献
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统计分析
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