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PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
被引量:
1
1
作者
张冬仙
章海军
林晓峰
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期384-388,共5页
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ...
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。
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关键词
光谱响应
纳米技术
原子力显微镜
AFM
光谱响应
光束偏转法
位置敏感元件
分辨率
PSD233型
在线阅读
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职称材料
位置敏感器件PSD抗干扰方法研究
被引量:
6
2
作者
许忠保
王宝龙
刘力
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第8期39-40,共2页
PSD在应用过程中的关键问题是背景杂散光及暗电流的干扰影响。从PSD的Lucovskey方程出发 ,推出了PSD在稳定背景杂散光干扰下的影响特性 ,及其位置误差输出方程 ,并通过在主动式对焦系统中的应用提出了消除背景杂散光及暗电流的方法和措施。
关键词
PSD
Lucovskey方程
抗干扰
位置敏感元件
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职称材料
采用PSD的激光测距传感器的检测及控制电路
被引量:
7
3
作者
王晓东
赵杰
+1 位作者
吴威
蔡鹤皋
《传感器技术》
CSCD
1995年第5期36-37,共2页
针对采用PSD研制的激光测距传感器在检测及控制电路的设计中所存在的关键问题进行了分析,并给出了电路的设计框图。
关键词
测距传感器
位置敏感元件
激光仪器
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职称材料
机器人柔性腕力传感器及其检测系统
被引量:
4
4
作者
王全玉
王晓东
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第6期30-33,37,共5页
介绍了一种集被动柔顺和力传感器于一身的机器人柔性腕力传感器,该传感器采用非接触式的光电检测装置进行位置/姿态变换的检测,检测准确度高,不易受到干扰,通过USB接口与计算机进行数据传输,接口方便。
关键词
机器人
柔性腕力传感器
检测
USB
位置敏感元件
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职称材料
激光平面测量系统的研究
被引量:
2
5
作者
王霞
胡长德
李向东
《电子测量技术》
2009年第2期151-155,共5页
介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶...
介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶上。测量靶一边移动,PSD一边拾取激光平面信号,经放大滤波、A/D转换、单片机(MCU)数据处理后,将结果输送到显示屏(LED)。
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关键词
平面测量
测量系统
激光平面
位置敏感元件
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职称材料
非接触相对位移传感器
6
作者
李昆
乔智锋
张承燕
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第12期40-42,46,共4页
为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4~7m,位移幅值5mm,测量分辨力1~7μm,准确度10μm,频率响应为0~100Hz。
关键词
位移传感器
振动测量
非接触测量
激光
位置敏感元件
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职称材料
题名
PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
被引量:
1
1
作者
张冬仙
章海军
林晓峰
机构
浙江大学光电系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期384-388,共5页
文摘
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。
关键词
光谱响应
纳米技术
原子力显微镜
AFM
光谱响应
光束偏转法
位置敏感元件
分辨率
PSD233型
Keywords
PSD
spectral response
AFM
nanotechnology
分类号
TN15 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
位置敏感器件PSD抗干扰方法研究
被引量:
6
2
作者
许忠保
王宝龙
刘力
机构
武汉测绘科技大学光电院
泰联光学(中国)有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第8期39-40,共2页
文摘
PSD在应用过程中的关键问题是背景杂散光及暗电流的干扰影响。从PSD的Lucovskey方程出发 ,推出了PSD在稳定背景杂散光干扰下的影响特性 ,及其位置误差输出方程 ,并通过在主动式对焦系统中的应用提出了消除背景杂散光及暗电流的方法和措施。
关键词
PSD
Lucovskey方程
抗干扰
位置敏感元件
Keywords
PSD,Lucovskey Equation,Antiinterference.
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
采用PSD的激光测距传感器的检测及控制电路
被引量:
7
3
作者
王晓东
赵杰
吴威
蔡鹤皋
机构
哈尔滨工业大学机器人研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
1995年第5期36-37,共2页
文摘
针对采用PSD研制的激光测距传感器在检测及控制电路的设计中所存在的关键问题进行了分析,并给出了电路的设计框图。
关键词
测距传感器
位置敏感元件
激光仪器
Keywords
Range finder PSD Semiconductor laser diode
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
机器人柔性腕力传感器及其检测系统
被引量:
4
4
作者
王全玉
王晓东
机构
北京理工大学信息学院
大连理工大学微系统研究中心
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第6期30-33,37,共5页
基金
国防科工委资助项目(16.10.3②)
文摘
介绍了一种集被动柔顺和力传感器于一身的机器人柔性腕力传感器,该传感器采用非接触式的光电检测装置进行位置/姿态变换的检测,检测准确度高,不易受到干扰,通过USB接口与计算机进行数据传输,接口方便。
关键词
机器人
柔性腕力传感器
检测
USB
位置敏感元件
Keywords
robot
compliant wrist force/torque sensor(CWFTC)
Detection
USB
position sensitive detector(PSD)
分类号
TP224 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
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职称材料
题名
激光平面测量系统的研究
被引量:
2
5
作者
王霞
胡长德
李向东
机构
装备指挥技术学院信息工程分院
装备指挥技术学院士官系
北京工商局怀柔分局
出处
《电子测量技术》
2009年第2期151-155,共5页
文摘
介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶上。测量靶一边移动,PSD一边拾取激光平面信号,经放大滤波、A/D转换、单片机(MCU)数据处理后,将结果输送到显示屏(LED)。
关键词
平面测量
测量系统
激光平面
位置敏感元件
Keywords
plane measurement
measurement system
laser plane
PSD
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
非接触相对位移传感器
6
作者
李昆
乔智锋
张承燕
机构
信息产业部电子第研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第12期40-42,46,共4页
文摘
为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4~7m,位移幅值5mm,测量分辨力1~7μm,准确度10μm,频率响应为0~100Hz。
关键词
位移传感器
振动测量
非接触测量
激光
位置敏感元件
Keywords
vibration measurement
noncontact measurement
laser
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
张冬仙
章海军
林晓峰
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
位置敏感器件PSD抗干扰方法研究
许忠保
王宝龙
刘力
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
采用PSD的激光测距传感器的检测及控制电路
王晓东
赵杰
吴威
蔡鹤皋
《传感器技术》
CSCD
1995
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
机器人柔性腕力传感器及其检测系统
王全玉
王晓东
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
激光平面测量系统的研究
王霞
胡长德
李向东
《电子测量技术》
2009
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
非接触相对位移传感器
李昆
乔智锋
张承燕
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
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