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ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究
被引量：
1
1
作者
师树恒
王斌
+1 位作者
王勇
朱健强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期777-780,共4页
在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中,采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿,根据补偿装置的技术要求,提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统,详细论述了监控系统的结构与...
在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中,采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿,根据补偿装置的技术要求,提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统,详细论述了监控系统的结构与工作原理。给出了电容式位移传感器的驱动电路及数据处理与控制软件的设计方案,并对电容式位移传感器的精度进行了标定。实验结果表明,该位移监控系统能够使可调F-P滤波器的间距稳定度保持在15 nm/h以内,使幅度调制效应的调制深度优于4%。
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关键词
法布里-珀罗滤波器
位移监控系统
电容式
位移
传感器
间距稳定度
幅度调制效应
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职称材料
题名
ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究
被引量：
1
1
作者
师树恒
王斌
王勇
朱健强
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期777-780,共4页
文摘
在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中,采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿,根据补偿装置的技术要求,提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统,详细论述了监控系统的结构与工作原理。给出了电容式位移传感器的驱动电路及数据处理与控制软件的设计方案,并对电容式位移传感器的精度进行了标定。实验结果表明,该位移监控系统能够使可调F-P滤波器的间距稳定度保持在15 nm/h以内,使幅度调制效应的调制深度优于4%。
关键词
法布里-珀罗滤波器
位移监控系统
电容式
位移
传感器
间距稳定度
幅度调制效应
Keywords
F-P filter
Displacement monitor system
Capacitive displacement sensor
Spacing stability
Frequency modulation-amplitude modulation effect
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究
师树恒
王斌
王勇
朱健强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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