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反射光学式位移检测系统
被引量：
1
1
作者
邬玉亭
胡玉禧
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
1993年第4期51-55,共5页
系统由半导体激光器、聚焦镜头、反射式标尺光栅、四裂相指示光栅和光电接收元件组成。该系统具有光学两倍频作用和大光栅副间隙下使用及间隙对莫尔条纹信号调制度不敏感等特点,并且整体结构分离式、小型化和轻型化,在各类精密测量装置...
系统由半导体激光器、聚焦镜头、反射式标尺光栅、四裂相指示光栅和光电接收元件组成。该系统具有光学两倍频作用和大光栅副间隙下使用及间隙对莫尔条纹信号调制度不敏感等特点,并且整体结构分离式、小型化和轻型化,在各类精密测量装置和精密加工仪器中将得到越来越广泛的应用。本文介绍这种反射光学式位移检测系统的结构原理,系统特点和应用。
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关键词
位移测量仪器
反射
测量
术
激光
测量
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职称材料
杠杆齿轮比较仪
被引量：
1
2
作者
王海波
《林业机械与木工设备》
2000年第3期31-31,共1页
关键词
杠杆齿轮比较仪
位移测量仪器
原理
误差分析
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职称材料
题名
反射光学式位移检测系统
被引量：
1
1
作者
邬玉亭
胡玉禧
机构
中国科技大学精密机械与仪器系
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
1993年第4期51-55,共5页
文摘
系统由半导体激光器、聚焦镜头、反射式标尺光栅、四裂相指示光栅和光电接收元件组成。该系统具有光学两倍频作用和大光栅副间隙下使用及间隙对莫尔条纹信号调制度不敏感等特点,并且整体结构分离式、小型化和轻型化,在各类精密测量装置和精密加工仪器中将得到越来越广泛的应用。本文介绍这种反射光学式位移检测系统的结构原理,系统特点和应用。
关键词
位移测量仪器
反射
测量
术
激光
测量
Keywords
Position measuring instruments, Reflectometry, Measurement by laser beam Semiconductor lasers,Optical frequency doubling.
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
杠杆齿轮比较仪
被引量：
1
2
作者
王海波
机构
哈尔滨量具刃具厂机械仪表厂
出处
《林业机械与木工设备》
2000年第3期31-31,共1页
关键词
杠杆齿轮比较仪
位移测量仪器
原理
误差分析
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
反射光学式位移检测系统
邬玉亭
胡玉禧
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
1993
1
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职称材料
2
杠杆齿轮比较仪
王海波
《林业机械与木工设备》
2000
1
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职称材料
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