PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用 被引量：1

1

作者 张冬仙 章海军 林晓峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期384-388,共5页

给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0～115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ... 给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0～115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。 展开更多

关键词 光谱响应 纳米技术 原子力显微镜 AFM 光谱响应 光束偏转法 位置敏感元件 分辨率 psd233型

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基于PSD的一维位移测量系统 被引量：10

2

作者 于光平 李延吉 冯英荐 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第12期1-3,共3页

介绍了PSD(Position Sensitive Detector)传感器的结构及工作原理,设计了一种基于PSD的非接触精密位移测量系统。系统包括PSD传感器、控制系统和上位机3部分。对控制系统的硬件电路进行了详细介绍,控制系统以STC89C52RC单片机和具有24... 介绍了PSD(Position Sensitive Detector)传感器的结构及工作原理,设计了一种基于PSD的非接触精密位移测量系统。系统包括PSD传感器、控制系统和上位机3部分。对控制系统的硬件电路进行了详细介绍,控制系统以STC89C52RC单片机和具有24位转换精度的AD7714为核心。单片机通过AD7714采集PSD传感器的输出信号,再对采集到的位移信号分析处理后将数据打包通过RS-485接口传给上位机,位移值在上位机界面上显示出来,实现了对系统的远程控制和实时测量。系统的量程为-10^+10 mm,测量分辨率达到了1μm,测量精度较高。 展开更多

关键词 psd传感器 非接触位移测量 AD7714 远程控制

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位置敏感器件PSD抗干扰方法研究 被引量：6

3

作者 许忠保 王宝龙 刘力 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第8期39-40,共2页

PSD在应用过程中的关键问题是背景杂散光及暗电流的干扰影响。从PSD的Lucovskey方程出发 ,推出了PSD在稳定背景杂散光干扰下的影响特性 ,及其位置误差输出方程 ,并通过在主动式对焦系统中的应用提出了消除背景杂散光及暗电流的方法和措施。

关键词 psd Lucovskey方程 抗干扰 位置敏感元件

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一种基于DSP的PSD相位法位移检测系统的研究

4

作者 翟昌民 秦岚 +2 位作者 薛联 席锋 段莹 《电子测量技术》 2012年第5期29-32,共4页

设计了一种利用PSD测量位移的系统,利用数字信号处理技术同时测量照射在单片PSD上多个光点的位置,实现多个光点的位移同步检测。根据检测系统的特点,提出了PSD相位法位移检测系统的总体方案,设计了检测系统的软件部分和硬件部分。搭建... 设计了一种利用PSD测量位移的系统,利用数字信号处理技术同时测量照射在单片PSD上多个光点的位置,实现多个光点的位移同步检测。根据检测系统的特点,提出了PSD相位法位移检测系统的总体方案,设计了检测系统的软件部分和硬件部分。搭建了检测系统的实验平台,在该实验平台上进行了PSD的多光束位移检测实验,实验表明,PSD在正弦调制光的照射下,PSD输出电流信号的相位差与光点的位置存在着明显的线性关系,PSD的转换灵敏度随着调制信号频率的增加而增加。研究工作为多光束位移同步检测提供了一种有效的解决方案。 展开更多

关键词 psd 位移同步检测 相位差测量 DSP

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电容式角位移传感器电场有限元仿真研究 被引量：11

5

作者 徐英 张涛 +1 位作者 李敏雪 杨波 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期512-515,共4页

对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析 ,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究 。

关键词 角位移传感器 电容式 有限元仿真 敏感元件 仿真研究 三维 样机 结构参数

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光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理 被引量：7

6

作者 吴宇 刘晓旻 杨国光 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期30-34,38,共6页

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通... 本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化。 展开更多

关键词 光杠杆 纳米位移测量 psd 信号处理

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一维PSD器件及其在测量中的应用 被引量：24

7

作者 于丽霞 王福明 《现代电子技术》 2007年第7期143-144,共2页

PSD是一种新型位置传感器。介绍了PSD器件的检测原理,并以理论推导的方式给出了其等效电路及光点坐标位置与输出电流的函数表达式。重点讨论了PSD器件在位移测测试和大型回转构件空间角度测试中的应用,分析结果表明该器件具有接口简单... PSD是一种新型位置传感器。介绍了PSD器件的检测原理,并以理论推导的方式给出了其等效电路及光点坐标位置与输出电流的函数表达式。重点讨论了PSD器件在位移测测试和大型回转构件空间角度测试中的应用,分析结果表明该器件具有接口简单、测试精度高,不受光束和焦点偏离的影响等优点,可广泛应用于精密测试领域当中。 展开更多

关键词 光电位置敏感器件(psd) 等效电路 位移测试 空间角度测量

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结构光法和相位移法的对比研究 被引量：3

8

作者 赵天宇 吴易明 +2 位作者 陈良益 朱立峰 刘宇波 《科学技术与工程》 2007年第17期4429-4432,共4页

结构光法和相位移法都是基于光学三角原理的位移测量方法。对结构光法和相位移法分别进行了原理上的论述,利用表格对其进行了对比。最后总结了各自面临的难题和发展趋势。

关键词 结构光法 相位移法 三角测量法 CCD psd

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智能化差动电容角位移传感器的研究 被引量：1

9

作者 张涛 钟秀贤 +1 位作者 李敏雪 徐英 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第9期3-4,7,共3页

介绍了一种智能化差动电容角位移传感器,它利用PIC16F877单片机实现对差动电容角位移传感器敏感元件的输出进行智能化处理。优点是减少电气干扰和温度漂移,消除电路网络参数的不对称影响,提高传感器的稳定性和可靠性。

关键词 智能化差动电容角位移传感器 PICl6F877 单片机 敏感元件 电气干扰 温度漂移 稳定性 可靠性

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一种简易的径向位移引伸计 被引量：1

10

作者 高炳军 陈旭 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第10期50-52,共3页

介绍了一种简易径向位移引伸计的结构及设计方法,根据其一次敏感元件的力学模型,推导了一次敏感元件的灵敏度。利用电阻应变测量技术,对自行设计的一套以65Mn薄钢片为一次敏感元件的引伸计进行了标定,实验表明:引伸计具有较高的灵敏度... 介绍了一种简易径向位移引伸计的结构及设计方法,根据其一次敏感元件的力学模型,推导了一次敏感元件的灵敏度。利用电阻应变测量技术,对自行设计的一套以65Mn薄钢片为一次敏感元件的引伸计进行了标定,实验表明:引伸计具有较高的灵敏度和线性度。与计算值相比,灵敏度误差仅为0.8%。该引伸计可用于内压循环弯曲管道及类似构件的径向变形的测量。 展开更多

关键词 引伸计 灵敏度 径向位移 压力管道 力学模型 敏感元件 径向变形测量

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ATP跟瞄系统中位置敏感探测器测量精度研究 被引量：7

11

作者 颜超超 刘瑾 +1 位作者 杨海马 张亮 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期524-531,共8页

为满足星-地量子通信中ATP跟瞄系统对二维位置敏感探测器(PSD)的精密性、实时性、可靠性的要求,基于Lab VIEW设计了PSD精度测量与误差修正系统。首先,采用驱动平台带动激光光源,通过扫描PSD光敏面,获得电压值并计算出光斑位置,分析非线... 为满足星-地量子通信中ATP跟瞄系统对二维位置敏感探测器(PSD)的精密性、实时性、可靠性的要求,基于Lab VIEW设计了PSD精度测量与误差修正系统。首先,采用驱动平台带动激光光源,通过扫描PSD光敏面,获得电压值并计算出光斑位置,分析非线性成因,采用多项式拟合法建立实际值与测量值间的数学模型,得到非线性修正函数。然后,结合光学三角测量对被测物体进行微位移和角度测量,并对测量结果进行误差修正。实验结果表明,经过修正后PSD位置误差显著减小,满足系统对PSD的需求,通过Lab VIEW软件编程提高了系统的测试效率。 展开更多

关键词 位置敏感探测器(psd) LAB VIEW 二元二次多项式法 微位移测量 角度测量

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基于PSD光杠杆自平衡精密电磁天平的研究 被引量：6

12

作者 张会玲 鲍丙豪 +1 位作者 吴迪 邓晓蓉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期779-783,共5页

提高电磁天平性能的关键是在一定质量下使横梁产生大的位移并对该位移量进行高精度检测,据此设计了一种基于PSD(位置敏感器件)光杠杆与横梁组件构成的位移传感器,并与电磁力传感器构成闭环系统,它可使传统的电磁天平的位移量得以进一步... 提高电磁天平性能的关键是在一定质量下使横梁产生大的位移并对该位移量进行高精度检测,据此设计了一种基于PSD(位置敏感器件)光杠杆与横梁组件构成的位移传感器,并与电磁力传感器构成闭环系统,它可使传统的电磁天平的位移量得以进一步放大。与普遍使用在电磁天平中的硅光电池位移传感器相比较,采用PSD光杠杆的位移传感器具有测量精度高,结构简单,动态特性好等优点,优化了电磁天平的整体性能。基于上述方法研制了量程为210 g的电磁天平样机并对其进行试验研究,结果表明其系统总精度达0.003 2%。 展开更多

关键词 电磁天平 psd 光杠杆 微位移 闭环系统

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非接触相对位移传感器

13

作者 李昆 乔智锋 张承燕 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第12期40-42,46,共4页

为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4～7m,位移幅值5mm,测量分辨力1～7μm,准确度10μm,频率响应为0～100Hz。

关键词 位移传感器 振动测量 非接触测量 激光 位置敏感元件

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高寒地区高速铁路路基冻胀远程监测 被引量：4

14

作者 朱力强 闻志强 +1 位作者 邬成健 王尧 《铁道学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期109-116,共8页

为准确监测高寒地区高速铁路路基冻胀情况,设计基于棱镜反射原理的高速铁路路基冻胀远程监测系统。考虑到现场环境光线变化对系统检测精度的影响,提出位移敏感元件(PSD)背景光补偿算法,对比试验表明补偿算法能够提高系统的测量精度,强... 为准确监测高寒地区高速铁路路基冻胀情况,设计基于棱镜反射原理的高速铁路路基冻胀远程监测系统。考虑到现场环境光线变化对系统检测精度的影响,提出位移敏感元件(PSD)背景光补偿算法,对比试验表明补偿算法能够提高系统的测量精度,强背景光下效果尤其明显。针对环境温度变化对系统检测精度的影响,对系统机构进行优化设计,温度特性试验表明系统处于高寒环境下时对测量精度的影响非常微小。整个系统在哈齐高速铁路进行了为期3个月的冬季现场监测,系统运行稳定可靠,测量点路基冻胀值最大约为2mm。 展开更多

关键词 路基冻胀 位移敏感元件(psd) 光照补偿 温度特性

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平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统 被引量：10

15

作者 于连栋 鲁思颖 +1 位作者 张炜 赵会宁 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第11期1621-1629,共9页

为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的... 为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的测量。以FPGA为核心搭建信号转换、采集及传输电路。在Lab VIEW环境编写上位机软件分析测量数据。使用ANSYS软件进行力学仿真分析提出测量系统应具备的精度指标及测量范围。使用激光干涉仪标定系统响应特性,通过2D等电压间隔输出实验测定PSD有效面积内的位移响应矩阵,采用2D双三次样条插值法修正系统响应的非线性误差。实验证实系统可实现1.32μm(2σ)的位移测量精度。可用于平行双关节坐标测量机杆件变形测量,且其安装尺寸较小,可以实现在线检测。 展开更多

关键词 微位移 平行双关节坐标测量机 psd 变形 误差 样条插值

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一种新型同轴度测量仪的研究 被引量：3

16

作者 杜希鹏 吕新民 张丽君 《农机化研究》 北大核心 2004年第6期157-159,162,共4页

新型同轴度测量仪是激光对中仪。该仪器运用激光束与PSD(光位移传感器)靶面中心的相对位移来测量轴的不对中量,并通过串口将测量的数据传递给计算机进行处理。为此,主要介绍了激光对中仪的原理、通信的实现及系统组成。

关键词 同轴度测量仪 激光对中仪 位移传感器 相对位移 数据传递 psd 激光束 行处理 计算机 仪器 串口

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