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高精度计算全息位相探测干涉系统的研究
1
作者
戴晓芳
魏耀林
+3 位作者
陈兴梧
吴继宗
陈本智
葛宝臻
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997年第4期274-279,共6页
讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随机干扰误差。探讨了采用三波前类剪切干涉法进行绝对测量能有效地消除其系统误差。测试结...
讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随机干扰误差。探讨了采用三波前类剪切干涉法进行绝对测量能有效地消除其系统误差。测试结果表明：该系统检测非球面面形精度达λ／２０。若进一步采用绝对测量法进行测量和处理，则其精度约可达λ／５０。
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关键词
计算全息图
干涉场
位相探测技术
CGH
光学系统
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职称材料
题名
高精度计算全息位相探测干涉系统的研究
1
作者
戴晓芳
魏耀林
陈兴梧
吴继宗
陈本智
葛宝臻
机构
天津大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997年第4期274-279,共6页
基金
机械工业部机械工业技术发展基金
文摘
讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。论述了ＣＧＨ干涉系统的光路和干涉场，采用位相自动探测术有效地降低了随机干扰误差。探讨了采用三波前类剪切干涉法进行绝对测量能有效地消除其系统误差。测试结果表明：该系统检测非球面面形精度达λ／２０。若进一步采用绝对测量法进行测量和处理，则其精度约可达λ／５０。
关键词
计算全息图
干涉场
位相探测技术
CGH
光学系统
Keywords
Computer generated hologram (CGH)
Interference field
Phase detecting technique
Absolute measure
分类号
TH744.303 [机械工程—光学工程]
TB96 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度计算全息位相探测干涉系统的研究
戴晓芳
魏耀林
陈兴梧
吴继宗
陈本智
葛宝臻
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997
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