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题名新型真空传输机械手设计研究
被引量：3
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作者
李学威
冯亚磊
马壮
王凤利
张金果
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机构
新松机器人自动化股份有限公司
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2013年第6期197-199,共3页
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基金
国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
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文摘
作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高了刚度及使用寿命。同时,根据真空传输机械手的结构建立其分析模型,推导运动学公式,对机械手驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析,阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插值次数,为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供了理论基础。
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关键词
晶圆
真空传输机械手
控制特性
轨迹规划
同步控制
运动精度
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Keywords
Wafer
Vacuum Transmission Manipulator
Control Characteristics
Trajectory Planning
Synchronization Control
Motion Precision
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP242.202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名晶圆片盒传输机械手设计与运动仿真
被引量：2
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作者
万喜新
周益华
曾裕民
王学仕
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2021年第8期178-181,共4页
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文摘
为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过构造目标优化函数结合粒子群优化(PSO)算法进行求解。最终基于MATLAB完成仿真分析,结果表明所建立的运动学方程正确,机械手的工作空间满足使用要求,所得最优逆解可使机械手末端达到设定的定位精度。
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关键词
晶圆片盒
传输机械手
运动学逆解
PSO算法
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Keywords
wafer cassette
transport manipulator
inverse kinematics solution
PSO algorithm
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分类号
TH165
[机械工程—机械制造及自动化]
TG659
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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