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蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率被引量：14: 1; 作者张波王洁 +4 位作者尉伟范乐裴香涛洪远志王勇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期571-574,共4页; 采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算。计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7×10-5以下。气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等。分析... 展开更多; 关键词分子流流导传输几率蒙特卡罗法; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：6: 2; 作者张以忱韩晶雪 +1 位作者贺佳李建军《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1169-1173,共5页; 借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正... 展开更多; 关键词传输几率 Monte Carlo 圆截面直角弯管 MATLAB; 在线阅读下载PDF 职称材料

热辐射等效方法计算分子流状态下真空管道的传输几率被引量：2: 3; 作者张篁杨安民 +3 位作者谌怡赵良超章林文刘克新《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期981-986,共6页; 真空模拟软件大多是基于蒙特卡罗法开发,尚缺少成熟的商业软件。基于热辐射和真空分子流物理机理上的相似性,可以采用热辐射等效来模拟真空分子流。本文利用理想气体状态方程和分子运动论推导出了利用热辐射模拟进行真空管道传输几率计... 展开更多; 关键词分子流流导传输几率热辐射模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析被引量：1: 4; 作者谢元华佟英博 +6 位作者谢天意王桂鹏窦仁超孟冬辉刘坤孙立臣闫荣鑫《真空科学与技术学报》北大核心 2025年第1期36-42,共7页; 涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输... 展开更多; 关键词涡轮分子泵径向叶片形状传输几率压缩比; 在线阅读下载PDF 职称材料

涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析被引量：12: 5; 作者王晓冬张磊 +2 位作者巴德纯蒋婷婷陶继忠《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期432-435,共4页; 采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值... 展开更多; 关键词涡轮分子泵传输几率数据回归抽气性能误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

涡轮分子泵入口结构改进的计算研究: 6; 作者孙坤张世伟 +3 位作者赵凡李海涛张志军韩进《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期6-11,共6页; 针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,把过渡连接件做成圆弧过渡段结... 展开更多; 关键词涡轮分子泵入口过渡结构蒙特卡洛方法抽气速率传输几率; 在线阅读下载PDF 职称材料

涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进被引量：5: 7; 作者匡永麟王晓冬 +1 位作者黄海龙张鹏飞《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期26-30,共5页; 涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程... 展开更多; 关键词涡轮分子泵抽气性能传输几率数值计算面积加权法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率被引量：14: 1; 作者张波王洁尉伟范乐裴香涛洪远志王勇; 机构中国科学技术大学国家同步辐射实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期571-574,共4页; 基金国家自然科学基金委资助(No.11205155); 文摘采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算。计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7×10-5以下。气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等。分析了传输几率与管道内壁吸附性的关系,通过测量管道两端气压便可计算出管道的抽速。另外,对椭圆和矩形截面管道的流导也进行了计算。; 关键词分子流流导传输几率蒙特卡罗法; Keywords Molecular gas flow, Conductance, Transmission probability, Monte Carlo; 分类号 TB71 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：6: 2; 作者张以忱韩晶雪贺佳李建军; 机构东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1169-1173,共5页; 文摘借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正确性和建模的合理性,进而对于圆截面直角弯管的传输几率进行了模拟计算,将模拟结果与两种等效算法比较得出:在分子流下计算圆截面直角弯管的传输几率时,Davis的等效方法较传统的等效方法更为合理。; 关键词传输几率 Monte Carlo 圆截面直角弯管 MATLAB; Keywords Transmission probability, Monte Carlo, Round section elbow, Matlab; 分类号 TB79 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热辐射等效方法计算分子流状态下真空管道的传输几率被引量：2: 3; 作者张篁杨安民谌怡赵良超章林文刘克新; 机构北京大学物理学院重离子物理研究所中国工程物理研究院流体物理研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期981-986,共6页; 文摘真空模拟软件大多是基于蒙特卡罗法开发,尚缺少成熟的商业软件。基于热辐射和真空分子流物理机理上的相似性,可以采用热辐射等效来模拟真空分子流。本文利用理想气体状态方程和分子运动论推导出了利用热辐射模拟进行真空管道传输几率计算的公式,利用ANSYS软件进行了二维和三维的热辐射模拟,利用公式计算得到的圆柱管和圆截面直角弯管传输几率和文献基本相符。此外针对二维模拟还分析了不同参数和网格尺寸对计算结果的影响。由于商业软件计算的便利性,热辐射等效方法可以高效地完成复杂模型的分析,为传输几率计算提供一种新的选择。; 关键词分子流流导传输几率热辐射模拟; Keywords Molecular flow Conductance Transmission probability Heat radiation analogy; 分类号 TB711 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析被引量：1: 4; 作者谢元华佟英博谢天意王桂鹏窦仁超孟冬辉刘坤孙立臣闫荣鑫; 机构东北大学机械工程与自动化学院北京卫星环境工程研究所; 出处《真空科学与技术学报》北大核心 2025年第1期36-42,共7页; 基金国家自然科学基金项目(U22A20179) 北京卫星环境工程研究所创新基金项目(CAST-BISEE 2019-024)。; 文摘涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输理论,采用数学粒子追踪方法,对9种不同形状的叶片结构进行对比分析,使用COMSOL软件模拟不同叶片结构下叶列间气体粒子的正、反向传输几率,探究叶片形状对气体粒子正、反向传输几率和压缩比的影响。结果表明,涡轮分子泵转子叶片一侧为弧形凸面结构,另一侧为平面结构时,分子泵的压缩比提升1个数量级,分子泵性能显著提升。研究对涡轮分子泵的设计与优化具有一定的参考价值和指导意义。; 关键词涡轮分子泵径向叶片形状传输几率压缩比; Keywords Turbomolecular pump Radial direction Blade shape Transmission probability Compres-sion ratio; 分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析被引量：12: 5; 作者王晓冬张磊巴德纯蒋婷婷陶继忠; 机构东北大学机械工程与自动化学院中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期432-435,共4页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429); 文摘采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。; 关键词涡轮分子泵传输几率数据回归抽气性能误差分析; Keywords Turbo molecular pump Transfer probability Data regression Pumping performance Error analysis; 分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名涡轮分子泵入口结构改进的计算研究: 6; 作者孙坤张世伟赵凡李海涛张志军韩进; 机构东北大学机械工程与自动化学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期6-11,共6页; 文摘针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,把过渡连接件做成圆弧过渡段结构。文中根据实际结构参数,建立了不同结构类型的计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,基于自由分子流态基本假设,利用Molflow+软件,计算了各个结构模型的传输几率。计算结果表明:当倾角α的取值范围在60°～70°、圆锥底角β的取值范围在25°～45°之间时,理论上可将涡轮分子泵的抽气速率提升5%左右。; 关键词涡轮分子泵入口过渡结构蒙特卡洛方法抽气速率传输几率; Keywords Turbo molecular pump Inlet transition structure Monte Carlo method Pumping rate Transmission probability; 分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进被引量：5: 7; 作者匡永麟王晓冬黄海龙张鹏飞; 机构东北大学机械工程与自动化学院; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期26-30,共5页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429)。; 文摘涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序。面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑,为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据。; 关键词涡轮分子泵抽气性能传输几率数值计算面积加权法; Keywords Turbo molecular pump Pumping performance Transmission probability Numerical calculation Area weighting method; 分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率	张波王洁尉伟范乐裴香涛洪远志王勇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	14	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率	张以忱韩晶雪贺佳李建军	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	热辐射等效方法计算分子流状态下真空管道的传输几率	张篁杨安民谌怡赵良超章林文刘克新	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析	谢元华佟英博谢天意王桂鹏窦仁超孟冬辉刘坤孙立臣闫荣鑫	《真空科学与技术学报》北大核心	2025	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析	王晓冬张磊巴德纯蒋婷婷陶继忠	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	12	在线阅读下载PDF 职称材料
6	涡轮分子泵入口结构改进的计算研究	孙坤张世伟赵凡李海涛张志军韩进	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进	匡永麟王晓冬黄海龙张鹏飞	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料