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题名光刻照明系统中新型均匀性补偿器的设计
被引量：3
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作者
李美萱
阚晓婷
王美娇
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机构
吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院
吉林省量子信息技术工程实验室
长春理工大学光电信息学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期105-109,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(No.91338116)
吉林省教育厅科学研究项目(No.JJKH20181363KJ)资助
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文摘
在超大规模集成电路中,为了满足波长193 nm数值孔径为1. 35的45 nm节点紫外光刻曝光光学系统对高分辨率的要求,设计了一种新型的均匀性补偿器件,用于提高照明系统的出射光均匀性从而实现光刻线条的高度均一性。该照明均匀性补偿器的主要功能是实现对照明视场的能量分布进行微调,从而减小系统的残余不均匀性,保证系统在掩膜面及硅片面上的能量分布均匀性达到更高指标的要求。此外,使用CODE V软件对该照明系统的均匀性进行仿真分析,研究发现采用新型均匀性补偿器可以在传统照明和离轴照明模式下同时的光刻照明系统对掩膜面的非均匀性均低于0. 5%。与传统匀光单元相比,该新型均匀性补偿器在不增加光刻照明系统机械设计和控制难度的基础上可明显提高光刻照明系统的均匀性,故该器件具有更好的应用价值和实用意义。
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关键词
均匀性补偿器
浸没式光刻
高分辨率
传统照明
离轴照明
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Keywords
novel uniform compensator
immersion lithography
high resolution
traditiona lighting
off-axis illumination
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名LED路灯矩形均匀照明方法综述
被引量：5
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作者
李梦远
韩姗
李柏承
侯宝路
张大伟
郑毅
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机构
教育部光学仪器与系统工程中心、上海市现代光学系统重点实验室、上海理工大学
宜兴经济技术开发区
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期14-18,共5页
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基金
国家自然科学基金(61378060,61205156)
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ14014704)
上海市教委曙光项目(11SG44)
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文摘
传统路灯照明的历史和现代路灯照明的发展,并总结了三类LED路灯实现矩形照明光斑的方法,分析了它们的照明效率,指出了LED矩形光斑路灯是未来道路照明的主要趋势。
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关键词
传统路灯照明
LED路灯照明
透镜组合系统
自由曲面透镜
微透镜阵列板
矩形均匀照明
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Keywords
Traditional street lighting
LED street lighting
lens combination system
free-form surface lens
micro-lens array plate
rectangular uniform illumination
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分类号
TN312.8
[电子电信—物理电子学]
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题名家用电器的节能
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作者
张培君
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机构
浙江省海盐县
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出处
《农村电工》
2021年第1期61-61,共1页
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文摘
各类家用电器,采用一定的节能措施就能达到节电的目的,同时能延长其使用寿命。(1)家庭使用LED灯泡照明。LED灯直流驱动,超低功耗(单管0.03—0.06 W),而电光功率转换近30%,在相同照明效果条件下,比传统照明光源节能近80%。(2)调低电视机音量。电视机音响部分的功耗相当大,人们在享受环绕立体音效震撼的同时往往容易忽视节能的问题。
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关键词
家用电器
功率转换
照明效果
直流驱动
超低功耗
节能措施
使用寿命
传统照明
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分类号
TM9
[电气工程—电力电子与电力传动]
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