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题名一种小体积MEMS传感器数据记录仪
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作者
尚义航
赵凯明
段俊萍
张斌珍
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机构
中北大学仪器与电子学院
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
2025年第1期110-117,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(52175555)
国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003)
山西省基础研究计划资助项目(20210302123074)。
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文摘
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。
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关键词
传感器数据记录仪
微电子机械系统(MEMS)
小体积
高抗过载
低功耗
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Keywords
sensor data recorder
microelectronic mechanical system(MEMS)
small volume
high anti-overload
low power consumption
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分类号
TH855
[机械工程—精密仪器及机械]
TJ410.6
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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