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等离子体刻蚀机静电吸盘温度控制方法仿真研究
被引量：
2
1
作者
张泽明
黄利平
+1 位作者
赵继丛
田凌
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期1196-1202,共7页
在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用。本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究。首先对静电吸盘的结构和传热进行分析,将其简化为二维轴对称模型,并验证了模...
在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用。本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究。首先对静电吸盘的结构和传热进行分析,将其简化为二维轴对称模型,并验证了模型的可靠性;然后研究了静电吸盘分区PID控制方法,分析了各PID参数对静电吸盘表面温度—时间响应特性的影响;最后引入试验设计方法,结合替代模型方法和遗传优化算法,对PID参数进行整定优化。结果表明,利用该简化的二维模型,可以在误差允许范围内,提高有限元计算的速率;同时本文提出的PID整定方法可有效提高PID参数整定效率,整定结果能够有效改善静电吸盘温度——时间响应特性。
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关键词
静电吸盘
温度控制
优化超拉丁立方设计
遗传算法
PID参数整定
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职称材料
侵彻条件下岩石类材料RHT模型参数敏感性分析
被引量：
8
2
作者
聂铮玥
彭永
+2 位作者
陈荣
蔡镇清
李付刚
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2021年第14期108-116,共9页
材料模型的参数敏感性分析对于简化材料参数确定及精确仿真计算结果具有重要意义。针对弹体侵彻半无限厚岩石靶体问题,考虑多种类型岩石的材料参数变化范围及参数间的非独立性,利用优化拉丁超立方设计(Opt LHD)算法设计了RHT模型参数计...
材料模型的参数敏感性分析对于简化材料参数确定及精确仿真计算结果具有重要意义。针对弹体侵彻半无限厚岩石靶体问题,考虑多种类型岩石的材料参数变化范围及参数间的非独立性,利用优化拉丁超立方设计(Opt LHD)算法设计了RHT模型参数计算矩阵并开展了参数敏感性分析,克服了以往研究中常采用单因素变量法进行分析的不足。分别以侵彻深度、弹体质量损失率及靶体损伤度为评价指标,结合355个有效数值仿真结果,分析了参数间的交互效应。结果表明,参数间存在交互效应,但总体参数组合对三类评价指标的交互效应均不显著,因此,进一步对参数进行了主效应分析。为了定量评价参数敏感性差异,通过建立参数与评价指标间的响应面模型,基于多元二次回归模型计算了参数贡献率,进一步得到了对于不同评价指标的材料参数敏感性排序结果。
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关键词
RHT模型
侵彻问题
ISIGHT软件
优化
拉丁
超
立方
设计
(Opt
LHD)
参数敏感性
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职称材料
题名
等离子体刻蚀机静电吸盘温度控制方法仿真研究
被引量：
2
1
作者
张泽明
黄利平
赵继丛
田凌
机构
清华大学机械工程系
清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期1196-1202,共7页
基金
国家02重大科技专项(No.2011ZX02403-004)
文摘
在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用。本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究。首先对静电吸盘的结构和传热进行分析,将其简化为二维轴对称模型,并验证了模型的可靠性;然后研究了静电吸盘分区PID控制方法,分析了各PID参数对静电吸盘表面温度—时间响应特性的影响;最后引入试验设计方法,结合替代模型方法和遗传优化算法,对PID参数进行整定优化。结果表明,利用该简化的二维模型,可以在误差允许范围内,提高有限元计算的速率;同时本文提出的PID整定方法可有效提高PID参数整定效率,整定结果能够有效改善静电吸盘温度——时间响应特性。
关键词
静电吸盘
温度控制
优化超拉丁立方设计
遗传算法
PID参数整定
Keywords
E-chuck
Temperature control
Optimal Latin hypercube design
Genetic algorithm optimization
PID tuning
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
侵彻条件下岩石类材料RHT模型参数敏感性分析
被引量：
8
2
作者
聂铮玥
彭永
陈荣
蔡镇清
李付刚
机构
国防科技大学文理学院
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2021年第14期108-116,共9页
基金
国家自然科研基金项目(11002162)。
文摘
材料模型的参数敏感性分析对于简化材料参数确定及精确仿真计算结果具有重要意义。针对弹体侵彻半无限厚岩石靶体问题,考虑多种类型岩石的材料参数变化范围及参数间的非独立性,利用优化拉丁超立方设计(Opt LHD)算法设计了RHT模型参数计算矩阵并开展了参数敏感性分析,克服了以往研究中常采用单因素变量法进行分析的不足。分别以侵彻深度、弹体质量损失率及靶体损伤度为评价指标,结合355个有效数值仿真结果,分析了参数间的交互效应。结果表明,参数间存在交互效应,但总体参数组合对三类评价指标的交互效应均不显著,因此,进一步对参数进行了主效应分析。为了定量评价参数敏感性差异,通过建立参数与评价指标间的响应面模型,基于多元二次回归模型计算了参数贡献率,进一步得到了对于不同评价指标的材料参数敏感性排序结果。
关键词
RHT模型
侵彻问题
ISIGHT软件
优化
拉丁
超
立方
设计
(Opt
LHD)
参数敏感性
Keywords
Riedel-Hiermaier-Thoma(RHT)model
penetration
ISIGHT software
optimal Latin hypercube design(Opt LHD)
parameter sensitivity
分类号
O347.1 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体刻蚀机静电吸盘温度控制方法仿真研究
张泽明
黄利平
赵继丛
田凌
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
侵彻条件下岩石类材料RHT模型参数敏感性分析
聂铮玥
彭永
陈荣
蔡镇清
李付刚
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2021
8
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职称材料
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