期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
被引量：
9
1
作者
郭小伟
杜惊雷
+1 位作者
陈铭勇
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期462-466,共5页
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响．模拟结果表明，当照明光源的波长为0．365μm，系统的数值孔径为0．3左右，缩小倍率为10-20×时，栅格像的可见度在0．1以下...
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响．模拟结果表明，当照明光源的波长为0．365μm，系统的数值孔径为0．3左右，缩小倍率为10-20×时，栅格像的可见度在0．1以下，DMD的栅格结构对成像质量的影响大幅降低；对微透镜的成像分析发现，合理的成像系统结构参量能有效地减少栅格的影响．如果结合DMD显示图形的可编程特点，优化图形的结构或灰度，则能在像面获得较理想的曝光量分布，达到快速加工二维和三维微结构的目的．实验结果证实了优化系统参量可有效消除DMD栅格的影响．
展开更多
关键词
数字光刻
像素栅格
优化系统参量
成像质量
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
被引量：
9
1
作者
郭小伟
杜惊雷
陈铭勇
杜春雷
机构
四川大学物理学院
中国科学院光电技术研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期462-466,共5页
基金
国家自然科学基金(60376021)
微细加工国家重点实验基金资助
文摘
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响．模拟结果表明，当照明光源的波长为0．365μm，系统的数值孔径为0．3左右，缩小倍率为10-20×时，栅格像的可见度在0．1以下，DMD的栅格结构对成像质量的影响大幅降低；对微透镜的成像分析发现，合理的成像系统结构参量能有效地减少栅格的影响．如果结合DMD显示图形的可编程特点，优化图形的结构或灰度，则能在像面获得较理想的曝光量分布，达到快速加工二维和三维微结构的目的．实验结果证实了优化系统参量可有效消除DMD栅格的影响．
关键词
数字光刻
像素栅格
优化系统参量
成像质量
Keywords
Digital photolithography
Pixel structure
Optimization of imaging parameters
Imaging quality
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
郭小伟
杜惊雷
陈铭勇
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
