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题名小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计
被引量：2
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作者
陈晨曦阳
金春水
王君
谢耀
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期265-278,共14页
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文摘
近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)谱包含了吸收原子的局域结构信息,由于其适用范围广,灵敏度高,已经成为研究物质结构的重要手段之一。为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱,本文基于气体激光等离子体X射线光源,采用具有平场特性的凹面变线距光栅作为分光元件,面阵CCD作为光谱探测器,设计了一台小型掠入射式近边X射线吸收谱仪。通过优化光栅和CCD的装配方案,得到了入射角88.6°的装配参数。利用光线追迹法分析了谱仪的分辨率,该谱仪工作波段2~5 nm,在4.4 nm处分辨率可达666。通过分析各结构参量误差对谱线半高宽的影响发现,半高宽对入射角的误差最为敏感,优化的装配方案可以实现入射角的高精度调节。利用氮气等离子体光谱测试了光谱仪的性能,结果显示分辨率达到设计指标。
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关键词
光谱仪
近边X射线吸收
掠入射
优化的装配方案
分辨率
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Keywords
spectrometer
near edge X-ray absorption
grazing incidence
optimized assembly scheme
resolution
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分类号
O434.13
[机械工程—光学工程]
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