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基于咖啡环效应的宽程柔性应变传感器
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作者 王金毅 胡本慧 +4 位作者 周宇轩 尹思梦 吴昊 任雪洋 唐文杰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第6期501-508,共8页
柔性传感器是柔性电子器件中关键的一种器件,柔性电子的快速发展对传感器的线性度、灵敏度和响应时间等性能提出了更高的要求。基于此,通过咖啡环效应在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上沉积碳纳米管(CNT)形成厚度梯度传感薄膜,制备了兼具宽程、... 柔性传感器是柔性电子器件中关键的一种器件,柔性电子的快速发展对传感器的线性度、灵敏度和响应时间等性能提出了更高的要求。基于此,通过咖啡环效应在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上沉积碳纳米管(CNT)形成厚度梯度传感薄膜,制备了兼具宽程、线性良好、灵敏度高与响应快速的柔性应变传感器,且制备方法简单。传感器的响应时间为80 ms,在拉伸1000次后仍具有良好的回复性和稳定性,在0~30%应变范围内应变系数为55,并保持良好线性(线性度R^(2)=0.9884),可用于监测关节活动,在医疗保健与康复、仿人人造皮肤机器人和仿生传感系统等领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 咖啡环 碳纳米管(CNT) 柔性应变 柔性电子器件 仿生传感系统
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