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采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法
被引量：
1
1
作者
杨静
尚夏
+1 位作者
荣海军
杜少毅
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期56-61,共6页
针对依赖硬件设施的晶圆分割方法存在生产成本高、工艺复杂且分割效果不稳定的问题,提出以仿射迭代最近点(ICP)算法为核心的基于图像形状配准思想的晶圆分割方法。该方法采用Canny算子提取图像边缘,建立晶圆模板图像与目标图像的特征点...
针对依赖硬件设施的晶圆分割方法存在生产成本高、工艺复杂且分割效果不稳定的问题,提出以仿射迭代最近点(ICP)算法为核心的基于图像形状配准思想的晶圆分割方法。该方法采用Canny算子提取图像边缘,建立晶圆模板图像与目标图像的特征点集;对目标图像的边缘图像进行基于Hough的直线检测,得到粗略的晶圆矩形边框信息;以矩形左上角的点坐标作为匹配搜索区域的初始值进行基于仿射ICP算法的精确配准,通过晶圆产品图像与模板图像的特征匹配,实现晶圆的快速、准确分割。理论分析及实验结果表明:该方法计算复杂度较低,单独样本分割时间约为0.9s,样本分割精度明显高于其他算法,满足自动化生产线的实时在线检测需求。
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关键词
晶圆分割
直线检测
形状配准
仿射迭代最近点
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职称材料
题名
采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法
被引量：
1
1
作者
杨静
尚夏
荣海军
杜少毅
机构
西安交通大学电子与信息工程学院
西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室
西安交通大学陕西省先进飞行器服役环境与控制重点实验室
中国西安卫星测控中心
西安交通大学航天航空学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期56-61,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61403300
61573274)
陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2014JM8337)
文摘
针对依赖硬件设施的晶圆分割方法存在生产成本高、工艺复杂且分割效果不稳定的问题,提出以仿射迭代最近点(ICP)算法为核心的基于图像形状配准思想的晶圆分割方法。该方法采用Canny算子提取图像边缘,建立晶圆模板图像与目标图像的特征点集;对目标图像的边缘图像进行基于Hough的直线检测,得到粗略的晶圆矩形边框信息;以矩形左上角的点坐标作为匹配搜索区域的初始值进行基于仿射ICP算法的精确配准,通过晶圆产品图像与模板图像的特征匹配,实现晶圆的快速、准确分割。理论分析及实验结果表明:该方法计算复杂度较低,单独样本分割时间约为0.9s,样本分割精度明显高于其他算法,满足自动化生产线的实时在线检测需求。
关键词
晶圆分割
直线检测
形状配准
仿射迭代最近点
Keywords
wafer segmentation
line detection
shape registration
affine iterative closest point
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法
杨静
尚夏
荣海军
杜少毅
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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